판매용 중고 KLA / TENCOR RS Series #293597083

KLA/TENCOR RS 시리즈는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 마이크로 일렉트로닉스 생산 및 포장을 효율적이고 정확하게 모니터링하도록 설계되었습니다. 완전 자동화 시스템 (Fully Automated System) 으로 웨이퍼 표면을 빠르고 안정적으로 테스트할 수 있습니다. KLA RS 시리즈는 특징과 기능이 다른 세 가지 모델로 구성됩니다. RS 300 모델은 고급, 3D 프로세스 제어, 중요 치수 스캐닝 장치 또는 CD-SEM을 위해 설계되었습니다. 가장 작은 회로 패턴에서도 정확성과 재현성이 높은 표면 결함 (surface defect) 과 거칠기 (roughness) 를 감지 할 수 있습니다. RS 300에는 또한 컬러 비디오 기능이있는 Optical Microscopy Module (광학 현미경 모듈) 이 포함되어 있으며, 고해상도 이미지와 필름 두께, 에치 깊이/프로파일, 그레인 크기 및 광학 특성 측정이 가능합니다. RS 500 모델은 표면과 박막의 정밀 도량형을위한 것입니다. 유전체 화이트라이트 반사계 (dielectric whitelight reflectometer) 가 장착되어 있는데, 샘플 접촉이 없어도 웨이퍼의 유전체 특성을 분석 및 측정 할 수 있습니다. 이렇게 하면 전체 웨이퍼 서피스에서 보다 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 가스 오염 물질 및 비활성 종의 분석 및 정량화 (Mass Spectrometer Module) 도 포함됩니다. TENCOR RS 시리즈의 가장 고급 모델은 RS 1000으로, 운영 환경에서 고성능, 매핑 레벨 측정 및 모니터링을 위해 제작되었습니다. 이 모델에는 나노 구조 및 기능을 직접 관찰하기위한 통합 Transmissive Transmission Electron Microscopy (TEM) 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 간섭계 기반의 "비 접합 (noncontact)" 3D 표면 측정 에셋을 특징으로하며, 이전보다 정확하고 정밀하게 낮은 노이즈 및 잔류 위상 측정을 가능하게합니다. 결론적으로 RS 시리즈는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 완벽한 솔루션입니다. 표면 특성 (surface properties) 과 나노 (nanopattern) 을 정확하게 측정하고, 오염 수준을 모니터링하며, 비교할 수없는 데이터 분석 기능을 제공합니다. 자동화된 모델은 빠르고 효율적인 결과를 보장하며, 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 제조에서 생산성을 높이고 품질을 향상시킵니다.