판매용 중고 KLA / TENCOR RS-55TCA #9245519

KLA / TENCOR RS-55TCA
ID: 9245519
Resistivity mapping system SMIF.
KLA/TENCOR RS-55TCA는 오늘날 가장 까다로운 반도체 제조 공정에 대한 고급, 종합 분석 솔루션을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동 정렬 (automated alignment) 및 로봇 처리 시스템 (robotic handling system) 을 통해 수백 개의 웨이퍼를 단일 배치로 검사하는 문제를 해결할 수 있습니다. KLA RS55TCA는 전체 표면적에서 웨이퍼 당 최대 8200 포인트를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템에는 현재 사용 가능한 다른 여러 시스템보다 정밀도가 높은 전동식, 완전 자동화, 5 축 정렬 장치가 장착되어 있습니다. 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼 (wafer) 와 200mm ~ 500mm 크기의 모든 두께의 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 기계는 두께, 평평, 표면 장력, 전기 특성 등 다양한 웨이퍼 특성을 측정 할 수 있습니다. TENCOR RS-55 TCA에는 여러 웨이퍼를 실시간으로 비교하여 고급 웨이퍼 분석을 허용하는 BandViewer 기능과 같은 다양한 고급 도량형 도구도 포함되어 있습니다. 또한 온보드 컴퓨터 도구 (On-board computer tool) 와 같은 여러 가지 고급 기능을 제공하며, 최대 25,000 개의 테스트 레코드와 함께 최대 4GB 의 데이터를 저장할 수 있습니다. 또한 사용자 정의 측정 프로그램을 작성할 수 있으며, 이러한 프로그램을 쉽게 구현할 수 있도록 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공합니다. KLA RS 55 TCA에는 측정 결과의 정확성을 보장하도록 설계된 독특한 품질 보증 (Quality Assurance) 기능도 포함되어 있습니다. 또한 고속 스캔 (High Speed Scan) 옵션을 통해 처리 시간을 단축하고 프로세스 다운타임을 최소화할 수 있습니다. KLA/TENCOR RS 55 TCA는 다용도, 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 추가 수익률 최적화 및 비용 절감을 위해 중요한 프로세스 통찰력을 제공 할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 기능을 갖추고 있으며, 신뢰성 있는 데이터와 결과를 제공하기 위해 높은 정확도와 정밀도 (precision in testing) 를 제공하도록 설계되었습니다.
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