판매용 중고 KLA / TENCOR RS-55TCA #9195303

KLA/TENCOR RS-55TCA는 반도체 제작 및 IC 설계를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고해상도 결함 분석, 항복 관리, 프로세스 제어, 장애 분석 등을 지원하는 완전 자동화 시스템입니다. 이 장치는 집적 회로의 생산을 모니터링하고 제어하는 데 있어 높은 정확도, 반복 가능성, 신뢰성을 제공합니다. KLA RS55TCA 기계는 CCD (Charge-Coupled Device) 센서, 다중축 정렬 장치 및 다중 축 단계를 결합하여 높은 해상도와 뛰어난 정확도의 이미지를 제공합니다. CCD 센서는 특허받은 광학 이미징 도구를 사용하여 개별 다이 (die) 및 다이 (die) 레벨에서 보이지 않는 정보를 캡처합니다. 그런 다음 고급 현미경 이미징 기술을 사용하여 10 - 40 µm의 결함을 분석하고 감지합니다. 다이-투-웨이퍼 (die-to-wafer) 정렬기는 웨이퍼 지형을 등록하고, 결함을 정확하게 찾고 식별할 수 있는 넓은 시야를 제공합니다. 다중 축 단계는 정확한 위치 지정 및 이동을 위한 높은 동작 정확도를 제공합니다. TENCOR RS-55 TCA는 서브 미크론 수준에서 정밀 도량형을 보장하는 교정 상자로 교정됩니다. 자산은 웨이퍼의 다른 사이트로부터 최대 8 개의 다른 매개 변수를 측정 할 수 있습니다. 다이 바이 측정 (die-by-die measuration) 에서 매크로 레벨 광전자 증식기 측정에 이르기까지, TENCOR RS 55 TCA는 집적 회로 생산 중에 발생할 수있는 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 박막 증착, 곡물 구조, 단면 영상 및 TEOS (tetraethyl orthosilicate) 증착과 같은 기능을 감지 할 수 있습니다. RS-55TCA는 칩 제조 및 제작을위한 고급 도량형 도구입니다. 즉, 높은 정확성과 반복성을 제공하면서, 수익률 관리 및 프로세스 제어를 지원하는 신뢰성 있는 데이터를 제공할 수 있도록 설계되었습니다. 이 툴은 운영 문제를 파악하고 완화하면서 최종 제품의 품질 (Quality Assurance) 을 보장하는 데 도움이 됩니다. KLA/TENCOR RS 55 TCA의 강력한 멀티 축 스테이지, CCD 센서 및 다이 투 웨이퍼 정렬기는 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 강력한 조합을 제공합니다.