판매용 중고 KLA / TENCOR RS-55TCA #9191837
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ID: 9191837
빈티지: 1995
Automatic resistivity mapping system
Type: Probe B
Measurement specifications:
Measurement range: <5 mohm/sq to >5 mohm/sq
Typical measurement time: 3.5-4.5 Seconds per test site
NIST(NBS) Standard wafers corrected to 23°C: ±1 %
Measurement repeatability: <0.2%
Temperature measurement accuracy: ±0.5°C
Temperature measurement repeatability: ±0.5°C
Routine check: 1-30 Sites programmable
Contour / 3-D map
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 Sites programmable
Probe qualification: (20) Sites
P-N Typing
Single / Dual configuration options
Hardware specifications:
Standard wafer sizes: 100, 125, 150 & 200 mm
Thick substrate option: 6 mm Thick materials
Color HP paintjet printer
Dot matrix printer
High resolution color monitor
Power requirements: 115/230 V, <8 A, 50/60 Hz
Vacuum: 500 mm Hg
Vacuum: 300 mm Hg
Pressure: 40-50 psig (3.3 bar)
Pressure: 40-60 psig (3.3 bar)
486/33 MHz Computer
486/25 MHz Computer
110 MB Fixed hard disk drive
40 MB Fixed hard disk drive
44 MB Removable hard disk
3.5" Diskette drive
1.44 MB Capacity
Analysis capabilities:
Contour, XY, Die
3-D Surface maps
Diameter scans
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing & data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference & ratio maps
Data transfer capabilities:
SECS II / RS232 Communication
Enhanced SECS II for fully automated operation
1995 vintage.
KLA/TENCOR RS-55TCA는 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼 레벨 측정 및 분석을 제공하며, 서피스 형태, 전극 너비, 크기, 기하학적 특성 등 다양한 장치 매개변수를 평가하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 최대 0.8 "미터 '크기의 기능을 분석 할 수 있으며, 이는 서브 미크론 장치의 정확한 테스트를위한 훌륭한 도구입니다. KLA RS55TCA의 주요 장점은 시간 해결 (time-resolved) 측정 기술을 활용하여 민감한 장치 특성을 높은 정확도로 평가하는 것입니다. 이것은 시스템의 강력한 PSI (Phase-Shift Interferometer) 센서에 의해 활성화되며, 이 센서는 실시간 차등 신호 프로세서와 함께 작동합니다. 이 조합은 짧은 시간 간격으로 관찰 간격 (observation taking) 간의 미세한 변화를 감지하여 측정 결과의 탁월한 정확성과 기존 기법과 비교하여 더 빠른 테스트 처리량을 제공합니다. 장치는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 로봇 엔드 이펙터 (robotic end-effector) 는 선형 모션 또는 포인트 기반 래스터 스캔에서 PSI 센서를 스캔하기 위해 웨이퍼를 포지셔닝할 수 있습니다. 반도체 벨트 컨베이어 및 웨이퍼 플랫폼은 테스트 중 웨이퍼를위한 안전한 플랫폼을 제공합니다. 광학 현미경 헤드 (optical microscope head) 는 웨이퍼 표면 및 후속 데이터 분석의 고해상도 확대 이미지를 가능하게합니다. 마지막으로, TENCOR RS-55 TCA에는 개인용 컴퓨터, 통합 모터 제어 장치 및 관련 소프트웨어로 구성된 통합 제어 및 분석 장치가 포함되어 있습니다. 이 장치는 PSI 센서의 웨이퍼 위치 (wafer position) 를 제어하고 데이터를 처리하여 측정 및 분석을 위한 고품질 결과를 얻을 수 있을 정도로 강력합니다. 전반적으로, RS 55 TCA는 강력한 웨이퍼 검사 및 도량형 도구로서, 시간 해결 측정 기계 덕분에 탁월한 정확성과 빠른 처리량을 제공합니다. 다재다능한 기능 및 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 은 고급 반도체 연구 및 개발에 이상적인 선택입니다.
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