판매용 중고 KLA / TENCOR RS-35 #9137627

KLA/TENCOR RS-35는 사용자에게 반도체 웨이퍼 상태에 대한 정확한 정보를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 옵틱 (optic) 과 디지털 이미징 (digital imaging) 을 사용하여 웨이퍼 표면의 물리적 이상을 감지하고 측정합니다. 일단 식별되면, 이상은 웨이퍼 품질에 미치는 영향을 결정하기 위해 평가 될 수 있습니다. 이 장치는 KLA SensArray Optical Detectors를 기반으로하며, 물리적 증거를 8nm까지 측정 할 수 있습니다. SensArray Detector는 고해상도 디지털 이미징 (high resolution digital imaging) 을 사용하여 기존 이미징 시스템보다 1,000 배 더 선명한 웨이퍼 표면의 이미지를 생성합니다. 결과 이미지는 워퍼 표면에 존재할 수있는 모든 이상 (예: 스크래치, 칩 또는 피트) 을 나타냅니다. KLA RS-35는 전통적인 광학 도량형 시스템과 동일한 원리를 사용하지만, 속도와 정확성이 향상되었습니다. 이 기계는 시간당 최대 400 개의 칩 (해상도 1nm) 을 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 웨이프 표면에서 잠재적 결함을 더 빨리 감지 할 수 있습니다. 또한 생산이 시작되기 전에 손상이 확인되고 해결됩니다. TENCOR RS 35에는 결함 분류를위한 통합 모듈도 포함되어 있습니다. 이 모듈은 감지 된 이상을 패턴 불규칙성 (pattern 불규칙성), 저항성 변화 (resistivity variations) 또는 입자 결함 (particle defects) 과 같은 범주로 분류하도록 설계된 알고리즘을 사용합니다. 이를 통해 사용자는 잠재적으로 문제가 있는 결함을 신속하게 파악하고, 최종 제품의 최고 수준의 품질 (quality) 을 보장하기 위해 시정 (corrective) 조치를 취할 수 있습니다. 또한 RS-35에는 웨이퍼 평판 모듈도 포함되어 있습니다. 이 모듈은 웨이퍼 평탄도를 측정하고 프로덕션 문제를 일으킬 수 있는 평탄하지 않은 영역을 식별합니다. 이 모듈은 도구와 함께 제조된 "웨이퍼 '가 가장 높은 표준을 준수하도록 도와줍니다. RS 35 (RS 35) 는 테스트 및 도량형을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구이며, 사용자에게 웨이퍼의 잠재적 결함을 식별하는 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic), 디지털 이미징 (Digital Imaging) 및 결함 분류 기능을 통해 사용자가 웨이퍼의 품질을 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다.