판매용 중고 KLA / TENCOR Quantox XP #9296678

ID: 9296678
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Measurement system, 12" CE Marked 2001 vintage.
KLA/TENCOR Quantox XP는 종합적인 결함 분석 및 결함 진단을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 또한 5 가지 주요 기능을 통해 Wafer 또는 기타 기판에서 스캔한 데이터를 정확하게 측정하고 처리할 수 있습니다. 첫째, 디지털 이미징 시스템은 웨이퍼 표면의 이미지를 캡처하여 웨이퍼 형상 (wafer geometry), 매크로 레벨 (macro level) 및 서브 미크론 레벨 (sub-micron level) 을 정확하게 검사하고 측정할 수 있습니다. 둘째, 감지 장치는 최적 신호 대 잡음 비율 및 최대 5µm 해상도의 전체 필드 측정 기능을 제공합니다. 이를 통해 가장 작은 결함과 오염 물질도 감지 할 수 있습니다. 셋째, 기계의 고급 발광 이미징 기능을 통해 도펀트 매핑, 그레인 구조, 포토 리토 그래피 및 양자 도트 응용 프로그램을 평가 할 수 있습니다. 넷째, KLA Quantox XP는 자동화된 웨이퍼 매핑 및 결함 검사를 실시간으로 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 복잡한 환경에서도 자동화된 작업에 고급 사용자 정의 레시피를 사용합니다. 마지막으로, 이 도구의 종합적인 분석 및 보고 기능은 웨이퍼 (Wafer) 결함 환경을 상세하게 재구성하고 생산 결함의 종합적인 특성을 제공합니다. 웨이퍼 (Wafer) 제조업체의 경우, 이 자산은 생산되는 동안 상당한 결함을 파악하고 검증하여 비용이 많이 드는 재작업 및 스크랩을 방지함으로써 상당한 품질 향상을 제공합니다. 간단한 GUI 기반 운영으로 사용이 간편합니다. 또한 확장성 (Scalability) 을 위해 설계되었습니다. 따라서 사용자는 프로세스 요구 사항이 더욱 정교해짐에 따라 기본 모델 (Basic Model) 로 시작하고 더 많은 기능을 추가할 수 있습니다. 마지막으로, 장비의 성능을 지속적으로 향상시킬 수 있도록 업그레이드 가능한 (Upgradable) 구성 요소와 함께 장기적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
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