판매용 중고 KLA / TENCOR Quantox XP #9252245

KLA/TENCOR Quantox XP는 여러 광학, 이미징 및 패턴 인식 기술을 결합한 복잡한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 구성, 형상, 결함 복잡성 등에 대한 반도체 분석을 가능하게합니다. 유지보수 (Maintenance) 및 처리량 향상을 위한 다운타임 단축을 통해 고속, 자동 웨이퍼 (Automatic Wafer) 검사를 수행할 수 있도록 설계되었습니다. KLA Quantox XP는 생산 프로세스에 사용하도록 설계되었으며, 중량 건설로 지속되도록 제작되었습니다. 여기에는 단계 높이와 같은 미세 웨이퍼 지형을 측정하기위한 KLA 독점 "레이저 간섭" 기술이 포함됩니다. 이 장치에는 탁월한 기능 인식 기능을 제공하는 소프트웨어 (Software) 도구도 있습니다. 각 피쳐의 크기, 모양, 정렬 및 결함 동작을 측정하며, 정확도는 0.5 미크론입니다. 이 기계에는 TOF (Time-of-flight) 현미경과 동일한 플랫폼에 내장 된 SIMS 깊이 프로파일 링 도구가 있습니다. 전자는 측면 해상도 0.5 미크론 (micron) 으로 웨이퍼의 3D 지형을 검사하고 분석 할 수 있습니다. 반면에, SIMS 깊이 프로파일 링 (SIMS depth profiling) 자산은 웨이퍼에 존재하는 결함의 유형과 양을 자세히 보여줍니다. 각 결함의 깊이를 측정하고, 다양한 결함을 파악하는 데 도움이 됩니다. 또한 TENCOR Quantox XP에는 웨이퍼 표면을 이미징하기위한 "다중 스펙트럼 이미징 (MultiSpectral Imaging)" 기술이 장착되어 있어 고급 결함 특성 및 분석에 도움이됩니다. 또한 이 모델에는 100mm 크기의 스캔 뷰 (scan field of view) 가 있어 사용자가 한 번에 전체 웨이퍼 서피스를 캡처할 수 있습니다. 또한 베이크 취소, 다중 스케일 분석, 푸리에 변환 분석 (Fourier Transform analysis) 과 같은 고급 알고리즘을위한 소프트웨어가 있습니다. Quantox XP는 효율적이고 안정적이며 비용 효율적인 블루 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 가장 복잡 한 "웨이퍼 '지형 의 정확 하고 정확 한 측정 을 하며, 그것 은 인상적 인 해상도 를 지니고 있다. 사용이 간편한 소프트웨어 제품군은 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 자동 분석 (automated analysis) 기능을 제공합니다. 또한, 폐쇄 루프 (closed-loop) 자동화는 높은 생산성과 반복성을 보장하여 모든 산업 웨이퍼 어플리케이션에 적합한 시스템입니다.