판매용 중고 KLA / TENCOR Puma2 #9270982
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KLA/TENCOR Puma2 Wafer Testing and Metrology 장비는 집적 회로 장치 제조에 사용되는 와퍼의 미세 구조를 검사하고 평가하기위한 고급 시스템입니다. 고급 광학 및 이미징 기능을 통합하여 오늘날 점점 더 복잡해지고 포장이 많은 IC 웨이퍼 (wafer) 에서 기능, 결함, 오염을 감지할 수 있습니다. KLA Puma2 장치는 자동 적응 이미징 기술, 2 개의 고해상도 이미지 처리 하위 시스템 및 2 개의 지능형 도량형 하위 시스템을 갖춘 2 개의 최첨단 이미징 하위 시스템을 갖추고 있으며, 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 자동 적응 이미징 기술을 통해 TENCOR Puma2는 각 웨이퍼에 대한 광학 이미징을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 사용자 지정은 전례없는 이미지 해상도를 제공하여 결함 감지 및 생산성을 향상시킵니다. 전문 소프트웨어 알고리즘, 식별, 정량화, 웨이퍼 (wafer) 기능 분석 등의 기능을 갖춘 2 개의 이미지 처리 서브시스템을 통해 기계는 다양한 웨이퍼 특성에 대한 자세한 피드백을 제공할 수 있습니다. 자동 도량형 하위 시스템은 정확하고 정확한 측정을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 Puma2 도구를 사용하면 기존의 이미징 시스템을 사용하여 감지 할 수없는 서브 미크론 입자와 피쳐를 감지하고 식별 할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 다양한 사용자 친화적 데이터 분석 툴과 함께 이미지 아카이빙 (Image Archiving) 및 광범위한 보고 기능을 지원합니다. 사용이 편리한 GUI (Graphical Based User Interface) 는 탐색을 단순화하여 교육 시간을 단축하고 품질 관리를 용이하게 합니다. 마지막으로 KLA/TENCOR Puma2는 SEMI, ISMI, IT6-D, ESD 및 E-Ray와 같은 업계 표준을 준수하며, 다른 fabline과 완벽하게 통합되어 모델과 기타 지원 툴셋 간의 원활한 데이터 교환을 용이하게 합니다. 이 툴셋 통합을 통해 Wafer 품질을 예측/실시간 분석할 수 있으며, 생산 시 최대 Wafer 수율을 보장합니다.
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