판매용 중고 KLA / TENCOR Puma2 #9270869

KLA / TENCOR Puma2
ID: 9270869
Inspection system.
KLA/TENCOR Puma2는 반도체 웨이퍼 제작의 성능과 정확성을 향상시키기 위해 설계된 고급 도량형 및 웨이퍼 테스트 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 제작 프로세스 전반에 걸쳐 매우 높은 정밀 도량형을 도입 할 수 있습니다. 고급 optic 및 wafer 검사 소프트웨어가 장착 된이 장치는 CD (Wafer Critical Dimensions) 및 Die Topography를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA Puma2 기계는 고해상도 이미징 도구, 포토 마스크 도량형 자산, 다양한 광/소프트웨어 도구로 구성됩니다. 고해상도 이미징 모델은 정밀한 나노미터 수준의 CD (CD) 를 측정하여 프로세스 제어 및 수율을 개선합니다. 장비는 또한 프로파일 및 웨이퍼의 표면 지형을 결정할 수 있습니다. 포토 마스크 도량형 시스템 (photomask metrology system) 은 웨이퍼 제조 프로세스에 사용되는 마스크의 포토 마스크 결함 및 기타 기능에 대한 광학 검사에 사용되는 특수 도구입니다. 그것 은 "마스크 '에 있는 표준 결함 과 불규칙적 결함 을 모두 결정 하는 빠르고 정확 한 수단 을 제공 한다. 이 장치는 사각형, 사각형, 원형 및 기타 모양을 포함한 광범위한 웨이퍼 크기와 IC 기판 형상을 지원합니다. 다양한 특수 웨이퍼 처리 단계 (specialized wafer handling stage) 가 기계와 호환되므로 다양한 샘플 이동 기능이 제공됩니다. 이 툴에는 직관적인 사용자 인터페이스, 포괄적인 데이터 관리 및 분석, 통합된 이미지 분석 라이브러리 (image analysis library) 를 제공하는 자체 소프트웨어도 포함되어 있습니다. TENCOR Puma2 (TENCOR Puma2) 자산은 반도체 업계의 프로세스 제어 및 결함 감지를 위한 최첨단 솔루션입니다. 고성능 이미징 시스템, 포토마스크 도량형 (photomask metrology) 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 모델은 생산량을 향상시키고 제조 속도를 높이는 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 탁월한 고객 지원 및 교육 옵션을 통해 소규모/대규모 웨이퍼 (wafer) 구성 작업에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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