판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9650 #293814960

KLA/TENCOR Puma 9650은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 패턴 (patterned) 웨이퍼를 빠르고 정확하게 테스트할 수 있는 기술과 다양한 검사 (inspection) 기술을 결합하여 완벽한 테스트 기능을 제공합니다. KLA Puma 9650 시스템은 OBF (Optical Bright Field) 및 고급 도량형 기술을 사용하여 전체 웨이퍼 검사 및 측정을 신속하게 수행합니다. 고급 고해상도 컬러 CCD 카메라를 비롯한 풀 웨이퍼 이미징 (full wafer imaging) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기능을 통해 웨이퍼 이미지를 신속하게 캡처하고 웨이퍼 기능에 대한 자세한 개요를 제공합니다. 오버레이 스테퍼 정렬은 오버레이 측정의 정확성과 테스트 결과의 반복 성을 보장합니다. 이 장치의 도량형 기능에는 나노 미터 스케일 구조의 세부 특성, 측면 벽 두께 및 오버레이/등록 측정을위한 3 차원 이미징이 포함됩니다. 또한 구리, 티타늄, 갈륨 비소와 같은 다양한 웨이퍼 기판에서 임계 치수 (CD) 및 라인 너비 거칠기 (LWR) 와 같은 매개 변수를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 정확성을 보장하기 위해 TENCOR Puma 9650에는 와퍼 자동 초점 머신과 밝은 필드 이미징을위한 고출력 조명 도구가 있습니다. 이를 통해 웨이퍼는 최고 수준의 디테일 (detail) 에 초점을 맞추고 측정의 정확도를 향상시킵니다. 또한, 자산에는 특허 하이브리드 스테이지 모델이 제공되며, 이는 웨이퍼 레벨 (wafer level) 과 다이 레벨 (die level) 에서 두 가지 유형의 측정을 수행하는 유연성을 제공합니다. 이것은 작은 샘플 크기를 테스트할 수 있으므로 재 작업 및 재료 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 통합 VionLink 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공하며, 테스트 및 분석을 자동화할 수 있습니다. 포괄적인 결함, 장애 분석, 추세 분석을 위한 강력한 데이터 분석 기능을 제공합니다. 또한 기본 (basic) 및 복잡한 (complex) 측정을 위한 설정 프로세스를 간소화하여 쉽고 빠르게 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 푸마 9650 (Puma 9650) 은 패턴 화 된 웨이퍼를 정확하게 측정하고 신속하게 검사하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 도량형 시스템과 하이브리드 스테이지 시스템 (hybrid-stage system) 을 사용하여이 장치는 photomask 결함 검사, 무접촉 웨이퍼 프로브 테스트, 다이 수율 모니터링 등의 응용 분야에 적합합니다.