판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9550i #9258170

KLA/TENCOR Puma 9550i는 장치 기능 및 중요 치수에 대한 높은 정확도를 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Puma 시스템 제품군의 최신 도량형 플랫폼입니다. 9550i는 최첨단 기술과 혁신을 통합하여 탁월한 정확성과 생산성을 보장합니다. 장치의 중심에는 고도로 통합 된 광학 디자인이 있습니다. 스캐닝 irradiance diffraction imaging microscope (iSCOPE) 와 두 개의 interferescope 목표를 기반으로 한 이중 디플렉터 디자인 (multi-axis flexure stage) 을 갖춘 독특한 광학 헤드. iSCOPE (iSCOPE) 는 디바이스의 전체 표면에 걸쳐 여러 기준을 동시에 이미징할 수 있게 해 주며, 디바이스의 상단/하단 모두에 대한 중요한 기능 크기, critical height/angle 및 overlay 측정을 분석할 수 있습니다. 이중 디플렉터 설계는 임계 치수의 높은 정밀도 측정과 하부 나노 미터 정밀도 (sub-nanometer precision) 의 운동으로 두 서피스의 정밀한 임계 높이/각도 측정을 모두 허용합니다. 탁월한 옵티컬 디자인 외에도 9550i 는 30ms 의 싱글 클릭 (single-click) 측정 시간, 2 초 미만의 기능 식별, 12 분 이내에 전체 적용 범위를 갖춘 웨이퍼 매핑 등의 고속 측정 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 0.96nm Critical Dimensions 및 0.76nm 오버레이 오류의 5 시그마 정밀도로 뛰어난 반복성을 자랑합니다. 또한 9550i 는 사용자에게 편리한 사용자 인터페이스 (UI) 와 직관적인 메뉴 기반 인터페이스 (UI) 를 제공하여 사용자 교육 시간을 줄이고 자동화된 측정 및 분석을 위한 "단계별" 예를 제공합니다. TENCOR 독점 패턴 인식 소프트웨어인 AFR (Automated Feature Recognition) 은 스캐닝된 이미지 몇 개에서 높은 처리량과 정확한 간격 분석을 보장합니다. KLA 푸마 9550i (KLA Puma 9550i) 는 정밀 측정을 위해 특별히 설계되었으며 다른 경쟁 플랫폼에는 없는 기능을 제공하는 획기적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 탁월한 정확성, 성능, 생산성을 자랑하는 혁신적인 옵티컬 디자인 (Optical Design) 은 물론, 사용자 인터페이스, 소프트웨어 옵션, 탁월한 기능 인식 기능을 통해 중요한 기능을 신속하게 파악하고 분석하여 프로젝트를 보다 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 탁월한 성능과 사용자 친화적 기능을 갖춘 9550i (9550i) 는 고급 정밀도 측정에 이상적인 선택입니다.