판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9150 #9378316

KLA / TENCOR Puma 9150
ID: 9378316
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Inspection system, 12" 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150은 반도체 산업의 프로세스 제어를 향상시키기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 수준 도량형 (advanced wafer-level metrology) 의 표준을 설정하여 빠르고, 정확하며, 정확한 측정과 통계 제어를 제공하여 디바이스 및 프로세스 성능을 원하는 매개변수 내에 유지하도록 합니다. 이 장치는 고급 광학 머신 (Optical Machine) 과 이미지 처리 기술 (Image Processing Technology) 을 통해 다중 웨이퍼 레벨 테스트 매개변수 구성 및 분석을 가능하게 합니다. 테스트 대상 이미지를 빠르고 정확하게 캡처하며, 온보드 하드 드라이브에 최대 4GB (영상) 의 데이터를 저장할 수 있습니다. 이 도구는 크기가 5m에서 100m에 이르는 기능을 검사하고 측정 할 수 있습니다. KLA 푸마 9150 (KLA Puma 9150) 은 빠른 스위칭, 다중 축 단계를 갖춘 통합 모션 컨트롤을 제공하여 테스트 사이트 간에 빠르게 이동할 수 있습니다. 이 자산은 고속, 고해상도 이미징 및 테스트를 용이하게 하는 강력한 제어 모델 아키텍처 (control model architecture) 를 갖추고 있으며, 각 테스트 웨이퍼에서 모든 관련 디바이스 성능 매개변수가 평가됩니다. 또한 고급 장비 소프트웨어는 이미지 수집, 시스템 유지 관리, 데이터 처리, 결과 프레젠테이션 등을 자동화합니다. 이 장치의 비전 머신 (vision machine) 에는 균일 한 조명을위한 LED 백라이트와 이미지 선명도와 안정성을 유지하는 통합 초점 메커니즘이 통합되어 있습니다. 고해상도 CCD 카메라 및 이미징 도구는 최적의 화질을 제공하며, 에셋은 최대 8K 해상도의 컬러 (Color) 및 흑백 (Monochrome) 이미지를 캡처합니다. 또한 TENCOR Puma 9150은 3D 이미징 기능을 제공하여 운영자가 장치 구성 설계 목표에 비해 실제 테스트 성능을 측정 할 수 있습니다. 또한 강력한 데이터 분석 소프트웨어 (data analysis software) 를 통해 디바이스 성능에 대한 포괄적이고 맞춤식 뷰를 제공합니다. 또한 통계적 프로세스 제어 분석 도구 (Statistical Process Control Analysis Tools) 를 통해 운영 추세를 모니터링하고 분석할 수 있습니다. 이 장비는 또한 다양한 데이터 유형 (data type) 을 지원하며, 특정 작업에 대한 사용자 정의 보고서 (custom reports for specific task) 를 포함하여 다양한 유형의 보고서를 생성하도록 구성하여 데이터를 신속하게 분석할 수 있습니다. 전반적으로 Puma 9150 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 제조 공정의 정밀도, 속도, 정확성을 보장하는 데 필요한 성능과 유연성을 제공합니다. 첨단 기술로 제작시설에 활용하기에 적합하며, 종합적인 데이터 분석 (data analysis) 기능은 공정 엔지니어 (Process Engineer) 와 R&D 전문가에게 적합합니다.
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