판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9150 #9217535

KLA/TENCOR Puma 9150은 온웨퍼 검사, 도량형 및 이미지 분석에 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동화된 로봇 암 (robotic arm), 정확한 동작 제어, 강력한 이미징 및 처리 기능을 통해 이미지를 빠르고 정확하게 캡처하고 데이터를 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 처리 단계, 이미징 및 처리 모듈) 로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 단계 (wafer handling stage) 는 이미징 및 분석 프로세스에 대한 샘플 웨이퍼 (sample wafer) 를 정확하게 배치하여 다양한 크기의 샘플에 사용할 수있는 자동 로봇 암입니다. 스테이지는 또한 샘플의 방향과 높이를 조정하여 분석의 정확성, 이미징 (imaging) 및 데이터 캡처 (data capture) 를 보장합니다. 이미징 및 처리 모듈은 이미징 머신, 제어 인터페이스, 다중 처리 모듈로 구성됩니다. 이미징 도구는 2 개의 CCD (Charge-Coupled Device) 카메라로 구성되며 최대 10 마이크로 미터의 해상도로 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 또한, 자산에는 멀티 포커스 광학 장치 (multi-focal optics) 가 장착되어 있어 웨이퍼에 대한 유용한 정보를 수집 할 수 있습니다. 한편, KLA GUIMind 소프트웨어 (KLA GUIMind software) 와 같은 제어 인터페이스는 직관적이고 포괄적인 사용자 경험을 제공하며, 모델의 종합적인 제어를 가능하게 하며, 통합 데이터 관리 및 고급 분석을 제공합니다. 마지막으로, 장비에는 종합적인 검사 및 도량형을위한 여러 처리 모듈 (예: 결함 분류 모듈) 이 포함됩니다. 즉, 시스템에서 수집한 데이터가 정확하고, 추가 분석이 가능하며, 장치 (unit) 에 통합되기 전에 웨이퍼 (wafer) 의 잠재적 문제를 파악하는 데 사용됩니다. KLA Puma 9150 기계는 웨이퍼 검사 및 도량형을위한 중요한 도구이며, 종합적인 분석을 위해 정확하고, 정확하며, 유익한 데이터를 제공합니다. 자동화된 로봇 암 (robotic arm) 과 강력한 이미징 및 처리 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 검사 및 도량형 어플리케이션에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.