판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9150 #9210486

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ID: 9210486
빈티지: 2006
Darkfield inspection system 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Puma 9150 (KLA Puma 9150) 은 웨이퍼 테스트 및 검사에 탁월한 정확성과 정확성을 제공하여 다양한 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 처리할 수 있습니다. 동급 최고 수준의 테스트 시간, 반복 성능, 생산량 등 Wafer 테스트 및 측정에 대한 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. TENCOR Puma 9150은 4 개의 센서가 장착 된 고해상도 고속 컬러 이미징 시스템을 사용합니다. 이 단위는 각 웨이퍼 레이어와 전체 웨이퍼 생산의 동시 다이 (in-die) 측정을 가능하게 합니다. 푸마 9150 (Puma 9150) 의 고급 소프트웨어 및 분석은 표면 거칠기, 결함, 전기 특성 및 기타 특성을 포함한 웨이퍼의 전체 상태에 대한 자세한 통계 데이터를 제공합니다. KLA/TENCOR Puma 9150에는 통합 자동 결함 검사 (ADI) 기계도 있습니다. 이 도구를 사용하면 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 자동으로 감지하고 식별할 수 있으며, 원산지 (origin) 와 원인 (cause) 을 추적할 수 있습니다. 또한 ADI 자산은 심각한 결함 (예: 프로세스 또는 장비 문제로 인한 결함) 을 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. KLA Puma 9150은 사진 방출, 마이크로 스코프, 열 이미징 등 다양한 이미징 기능을 제공합니다. 또한 도량형, 빠른 광학 검사 (FTI) 및 웨이퍼 치핑과 같은 웨이퍼 측정 기능을 제공합니다. 또한 TENCOR Puma 9150은 초고속 전압 테스트를 통해 도량형 작업의 가속화 및 프로세스 최적화를 허용합니다. Puma 9150 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology model) 은 유연성을 위해 설계되었으며 모듈식 설계를 통해 표준 생산 환경에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 또한 다양한 언어를 지원하므로 사용자 친화적이며, 여러 사용자에게 편리합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Puma 9150은 뛰어난 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 정확성, 속도 및 반복 성을 제공합니다. 고급 소프트웨어 및 분석으로 인해 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 도구가되었습니다. "웨이퍼 '의 가장 작은 결함 까지도 식별 하고 측정 할 수 있으며, 짧은 시간 내 에 상세 한 통계 자료 를 제공 하여" 반도체' 산업 에서 귀중 한 도구 가 된다.
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