판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9150 #293606942

KLA/TENCOR Puma 9150 Wafer Testing and Metrology Equipment는 종합적이고 정확하며 안정적인 반도체 프로세스 제어 및 결함 분석을 제공하는 도량형 플랫폼입니다. 산란 측량, AFM 및 기타 광학 방법을 포함한 다양한 고급 도량형 기술을 활용하는 KLA Puma 9150 플랫폼은 프로세스 제어 및 결함 분석을 위한 강력한 통합 기능을 제공합니다. TENCOR Puma 9150 시스템은 제작하는 동안 임계 치수에 장치가 있음을 정확하게 측정하여 프로세스 제어를 지원합니다. 이 기능은 프로세스의 각 단계 (successive steps) 가 올바르게 수행되도록 하는 데 도움이 됩니다. 공학자 들 과 과학자 들 은 "퓨마 '9150 을 이용 하여 복잡 한 표면 을 감시 할 수 있으며, 형태 와 그 들 이 생산 과정 에서 만들고 있는 각 장치 와 모든 장치 의 국부 층 두께 를" 로컬스' 로 만든다. KLA/TENCOR Puma 9150 장치는 프로세스 및 결함 분석의 엄격한 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이 기계는 6 개의 조정 가능한 축과 2 개의 수직 동작 축을 특징으로하며 웨이퍼의 여러 지점을 한 번에 측정 할 수있는 멀티 스팟 스캐터미터 (multi-spot scatterometer) 와 같은 고급 센서, 200nm 해상도의 스캔 전자 현미경, 5nm 해상도의 스캐닝 전자 현미경 및 자동 집중 이온 빔 (FIB). 이 모든 센서는 고해상도 광학 및 전기 측정을 할 수있는 기능을 제공합니다. KLA Puma 9150 툴은 최고의 품질 (Quality) 표준을 충족하도록 설계된 강력한 프로세스 제어 및 결함 분석 소프트웨어 제품군과 통합되었습니다. 이 소프트웨어는 간단한 모니터링, 데이터 시각화, 복잡한 이미지 처리, 기능 추출, 통계 분석 등 다양한 처리 작업을 수행할 수 있습니다. TENCOR Puma 9150 자산은 신뢰할 수있는 통계 프로세스 제어에 적합한 빠르고 정확한 도량형 결과를 제공합니다. 통합 모델은 Wafer Yield 및 Quality 매개변수를 예측할 수 있는 강력한 플랫폼을 제공합니다. 다양한 센서 배열을 갖춘 푸마 (Puma) 9150 (Puma) 9150 장비는 제조 과정에서 결함을 정확하게 감지하고 수정하여 생산 프로세스 전반에 걸쳐 장치 성능 및 수율을 최적화합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Puma 9150 Wafer Testing and Metrology System은 포괄적이고 정확한 프로세스 제어 및 결함 분석을 제공하는 효과적인 플랫폼입니다. 첨단 도량형 (Metrology) 기술과 강력한 소프트웨어 제품군은 웨퍼 구성 (Wafer Fabrication) 을 모니터링하고 최적화할 수 있는 안정적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.