판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9150 IS #9177224
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판매
ID: 9177224
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Operating system: Windows 2000 based
Modular inspection station
Modular handler (200/300mm dual open / Dual 300mm FIMS)
Flexible image computer
Optics modes
(5) Inspection pixel modes (sL20, sL40, sL60 included in every system)
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Data transfer (CD RW, Ethernet)
Wafer pre-aligner
Network communication
Stand alone user interface
(5) Review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Advanced detection algorithms
Defect clustering
High mag review optics:
Bright and darkfield review modes
Autofocus capability
Review sampling
Earthquake restraint
Dual fims, phoenix v1.3
(25) Cassettes HW, 300 mm SW
Includes:
(1) DSW 16.3 type 2 wafer
(1) Shiny wafer
(1) Haze wafer
FFU Analog
Enhanced throughput: sL10, 15
GEM/SECS and HSMS
OHT Enabled
With cbl, G4
Signal tower: PHX (RYGB)
Option: NFS SW
Power cable: 15 m
Remote ext blower cabling, 15 m
Array mode
Currently installed
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 IS는 업계 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 첨단 기술은 정밀 광학, 이미지 인식, 도량형 기능을 결합하여 보다 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 검사 및 분석을 가능하게 합니다. KLA Puma 9150 IS는 대용량 반도체 제조의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. TENCOR Puma 9150 IS에는 9 개의 고해상도 자동 RGB 카메라가 장착되어 있으며, 이 카메라는 다양한 수준의 웨이퍼 검사가 가능합니다. 이를 통해 사용자는 표면 불규칙성, 입자 오염 물질, 리소그래피 오류와 같은 프로세스 관련 오염 물질 (process-related contaminant) 을 포함한 여러 유형의 결함에 대해 웨이퍼를 빠르게 스캔 할 수 있습니다. 광학 시스템은 나노 미터 스케일까지 정확한 측정을 제공합니다. 자동 웨이퍼 검사 프로세스를 통해 정확하고 효율적인 웨이퍼 표면 분석을 할 수 있습니다. 시스템의 컴퓨터 비전 (computer vision) 기술을 사용하면 감지된 결함을 정확하게 파악하고 분류할 수 있습니다. 또한, Puma 9150 IS는 웨이퍼 테스트 단계에서 의사 결정을 돕기 위해 실시간 도량형 데이터를 제공 할 수 있습니다. KLA/TENCOR Puma 9150 IS에는 이미지 캡처 및 분석을 단순화하는 강력하고 사용하기 쉬운 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하며 고급 비디오 이미지 처리 기능을 제공합니다. 또한, 모듈성을 통해 다양한 wafer 테스트 및 도량형 애플리케이션에 맞게 사용자 정의 구성을 수행할 수 있습니다. KLA Puma 9150 IS 는 수집하는 데이터를 자동으로 학습하여 고속 처리량을 제공합니다. 신속· 정확성을 검증하는 동시에, 향후 실행을 위해 프로세스를 최적화하는 피드백 (feedback) 을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 통합 도량형 장치는 높은 정밀도로 두드러집니다. 고유 한 교정을 활용하여 나노 미터 척도에 대해 반복 가능하고 정확한 결과를 제공합니다. 전반적으로 TENCOR Puma 9150 IS는 최신 광학 및 이미지 인식 기술을 결합한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 견고한 도구는 탁월한 정확성과 반복성으로 안정적인 웨이퍼 검사 및 도량형 결과를 제공합니다. 모듈성과 강력한 소프트웨어로 구성 능력이 뛰어나 업계 표준 wafer 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 요구 사항을 충족하는 최상의 솔루션입니다.
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