판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9130 #9398548

KLA/TENCOR Puma 9130은 생산 수준 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 정밀 도량형 및 웨이퍼 테스트 장비입니다. 이 시스템은 일반적인 정확도 1.2 nm (1.2 nm) 로 매우 정확한 측정 및 웨이퍼 테스트가 가능합니다. 이 장치는 여러 wafer 구성을 측정할 수 있으며, 직경이 최대 6 인치까지 스캔 할 수 있습니다. KLA Puma 9130은 사용자가 반도체 웨이퍼 및 칩을 빠르고 정확하게 분석, 검사, 진단 및 수리 할 수있는 완전 자동화 머신입니다. TENCOR Puma 9130 (TENCOR Puma 9130) 은 독자적인 소프트웨어 플랫폼을 갖추고 있어, 도구의 모든 작업을 구성하고 제어할 수 있습니다. 에셋은 12 채널 광학 현미경 카메라와 고해상도 이미징을 제공하는 3 축 모션 모델 (motion model) 로 구동되어 웨이퍼 (wafer) 기능을 정확하게 측정하고 분석 할 수 있습니다. Puma 9130은 이미지에서 데이터를 얻을 수있는 고해상도 이미지 처리 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 임계 치수, 선 너비, 모서리 배치, 형태 활동 등의 웨이퍼 피쳐를 검색, 측정, 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 또한 반도체 칩의 정확한 측정을 가능하게하기 위해 웨이퍼 매핑을 제공합니다. 이 기계에는 생산 수준 자동 결함 감지 도구가 장착되어 있습니다. 이 에셋은 일련의 이미지 처리 작업을 사용하여 끊어진 선 (broken line), 열린 비아 (open vias), 누락된 범프 (missing bumps) 및 기타 여러 결함과 같은 결함을 감지합니다. 또한, KLA/TENCOR Puma 9130에는 이미지의 데이터를 정확하게 분석 할 수있는 일련의 이미지 분석 도구가 포함되어 있습니다. 여기에는 고해상도 반도체 기능 감지, 웨이퍼 레벨 결함 분석, 패턴 컨투어 및 서피스 프로파일, 고해상도 도량형 맵이 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 중요한 치수와 웨이퍼 피쳐의 모양을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 KLA Puma 9130은 생산 수준의 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 반도체 웨이퍼를 정확하게 분석 및 검사 할 수 있습니다. 이 장비는 고해상도 이미지 처리, 결함 감지, 이미지 분석, 도량형 매핑 (metrology mapping) 기능을 갖추고 있어 웨이퍼로부터 매우 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 시스템은 운영 레벨 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 선택이 됩니다.