판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9130 #9392082

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ID: 9392082
빈티지: 2008
Darkfield inspection system, parts system 2008 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9130은 장치 제작 과정에서 반도체 웨이퍼에 대한 고정밀 측정을 가능하게하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 자동 자가 정렬 웨이퍼 스테이지, 시각적 이미징 장치, 다양한 측정 및 분석 옵션, 운영자가 데이터를 분석하고 더 나은 결정을 내릴 수 있도록 특별히 설계된 광범위한 소프트웨어 (Suite) 가 포함됩니다. KLA Puma 9130에는 여러 카메라, 강력한 광학 현미경 및 매우 민감한 측정 장치가 있습니다. 이 조합을 통해 기계는 나노 미터 스케일에서 매우 작은 결함 구조를 감지 할 수 있습니다. 또한 다른 장치 구조를 1 나노 미터의 해상도까지 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, TENCOR Puma 9130의 고급 이미징 도구 (advanced imaging tool) 는 정교한 공간 필터링 알고리즘과 잘 대조되어 있어 장치를 보다 자세히 검사하고 측정 할 수 있습니다. 자산의 측정 및 분석 옵션은 사용자 정의가 용이하며, 소프트웨어 툴을 통해 운영자가 신속하게 다이 결함을 파악하고, 근본 원인을 파악하고, 추세를 외삽할 수 있습니다. KLA CDS 소프트웨어를 사용하면 이미지를 시뮬레이션하여 테스트를 수행하기 전에 예상 동작을 확인할 수 있습니다. 또한 CDS 데이터베이스와 통합하여 측정을 저장하고 추적합니다. 푸마 9130 (Puma 9130) 은 자동화된 결함 검사, 웨이퍼 매핑 및 분석, 프로세스 제어 등 다양한 wafer 테스트 및 도량형 응용 프로그램에 사용될 수있는 강력하고 정확한 모델입니다. 이 제품은 자동화된 스테이징 소프트웨어, 직관적인 소프트웨어, 종합적인 기능 세트 덕분에 시간과 비용을 절감하면서 탁월한 성능을 제공합니다 (영문). 이 장비의 모듈식 (modular) 설계를 통해 구성 요소를 손쉽게 추가 또는 업그레이드할 수 있으며, 고객의 요구에 맞게 시스템을 확장하고 조정할 수 있습니다.
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