판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9130 #9214946

KLA/TENCOR Puma 9130은 독점 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 현대 생산 환경에서 스루핑 (through-put) 과 생산성을 극대화하기 위해 설계된 이 시스템은 복잡한 반도체 웨이퍼를 표시하고 측정하기 위한 강력한 도구로서 정확하고 안정적인 측정치를 제공합니다. KLA Puma 9130은 CMOS, SOI, MEMS, 혼합 신호 및 전원 장치를 포함한 광범위한 웨이퍼를 테스트 할 수있는 다기능 웨이퍼 테스트 솔루션입니다. 이 장치는 최신 이미징 기술 (Imaging Technology) 을 갖추고 있으며 웨이퍼의 결함 및 기능을 정확하게 감지합니다. TENCOR Puma 9130은 장치를 더 정확하게 검사 할 수있는 4 × BSE 이미징 모드를 갖추고 있습니다. 또한, 정확한 결함 및 기능 위치를 지원하고 2D/3D 도량형 (metrology) 측정의 전체 배열을 지원할 수있는 일련의 프로브 기능을 제공합니다. 이 기계는 특허를 받은 극성 광원 (polarized light) 기능을 사용하며, 이는 웨이퍼 표면의 세밀한 세부 사항을 캡처하는 고해상도 이미징을 가능하게 합니다. 이 도구의 고정밀도 스테이지 포지셔닝 (Stage Positioning) 자산은 매우 작은 피쳐 크기에 대한 정확한 측정이 가능하도록 설계되었습니다. 이 모델은 포지셔닝 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 장치 구조 (예: 게이트 접합) 및 기타 작은 피쳐를 정확하게 측정할 수 있습니다. 푸마 9130 (Puma 9130) 의 독보적인 아키텍처는 넓은 공간에서도 유연하게 구성하고 다양한 웨이퍼 테스트 기능을 수행할 수 있게 해 줍니다. 환경과 온도를 조절하기 위한 통합형 환경실 (environmental chamber) 이 있는데, 이를 통해 테스트된 조건을 조절하고 웨이퍼를 손상시킬 수 있는 산화효과를 줄일 수 있습니다. KLA/TENCOR Puma 9130 은 높은 처리량과 빠른 처리 능력을 갖추고 있어, 운영 환경에 적합한 솔루션입니다. 이 장비는 시간당 최대 300 개의 웨이퍼를 테스트 할 수 있으며, 독특한 낮은 입자 환경을 갖추고 있습니다. 이는 TCO (총소유비용) 와 결합하여 높은 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템에 적합한 솔루션입니다.