판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9130 #293758114

KLA / TENCOR Puma 9130
ID: 293758114
DFI inspection system, 8".
KLA/TENCOR Puma 9130은 반도체 제작에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력한 도구입니다. 광범위한 재료와 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼 크기의 고속, 비파괴적 인 인라인 도량형을 전문으로합니다. KLA Puma 9130은 멀티 센서 플랫폼 (multi-sensor platform) 을 사용하여 웨이퍼의 중요한 매개변수를 수집, 해석 및 문서화하는 효율적이고 자동화된 방법을 제공합니다. 여기에는 피치, 프로파일, 두께, 표면 지형, 구조 및 화학 정보와 같은 프로세스 크리티컬 스케일링 매개변수가 포함됩니다. EMC 소프트웨어 제품군은 실시간 데이터를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있게 해 주는 제품으로, 현재/기간별 웨이퍼를 완벽하게 분석할 수 있습니다. TENCOR Puma 9130은 생산 실행에 대한 대량의 정확성을 검사하도록 설계되었습니다. 고해상도 카메라와 다층 광학 현미경은 웨이퍼 표면의 미세한 전망을 제공합니다. 고급 알고리즘은 스크래치, 오염 물질 및 결정 변형과 같은 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 푸마 9130 (Puma 9130) 에는 강력한 자동 웨이퍼 처리 시스템이 장착되어 있어 설정 (setup) 및 운영자 (operator) 가 최소화되어 지속적인 운영 실행이 가능합니다. 자동화 소프트웨어에는 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 기존 운영 계열 (production line) 에 통합될 수 있으므로, 모든 운영자가 단기간 내에 제품을 익힐 수 있습니다. 시스템 통합 (Systems Integration) 기능은 기존 측정 시스템 및 운영 시스템 (Production Line Machinery) 에 쉽게 연결할 수 있게 해 주며, 운영 중 변경 사항이나 조정에 신속하게 대처할 수 있습니다. 또한 원격 액세스를 통해 원격 모니터 및 제어 (Control of Remote Monitor and Control) 기능을 통해 유연성이 향상되고 긴급 상황에 더욱 신속하게 대응할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Puma 9130은 신뢰할 수 있고 정확하며 고속 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공합니다. 사용이 간편한 소프트웨어, 강력한 자동화 (automation) 및 원격 액세스를 통해 고급 반도체 생산에 유용한 툴이 됩니다.
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