판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9120 #293705738
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ID: 293705738
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Equipment Front End Module (EFEM)
PC Processor Type: x86, Family 15, Model 4, Stepping 10
Genuine Intel: ~3391 Mhz
Operating system: Windows 2000
(3) Inspection pixel models
Pixel Sizes: sL5, sL8, sL20
Power: 208V, 60Hz, 83A
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120은 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Puma 9120 (KLA Puma 9120) 은 강력한 다용도 시스템으로 프로세스 제어 및 장애 감지를 위한 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. TENCOR Puma 9120은 완전 자동화 장치입니다. 고속, 소형 시야, 컬러 다크 필드 검사 (Color Darkfield Inspection) 머신을 장착하여 웨이퍼 및 기타 부품의 결함을 빠르고 정확하게 식별하고 정량화 할 수 있습니다. 고급 소프트웨어를 사용하면 입자와 패턴을 지능적으로 구별 할 수 있습니다. 이 도구는 크기, 모양, 위치, 방향, 텍스처 등 3차원에서 최대 128개의 피쳐를 측정할 수 있습니다. 고해상도 이미징 자산을 갖춘 통합 Metrology 스테이션은 최대 64 개의 웨이퍼를 동시에 분석 할 수 있습니다. 여기에는 다양한 기능의 wafer 내 및 across-wafer 상관 관계를 측정하는 기능이 포함됩니다. 또한 Puma 9120 은 측정 데이터를 추적, 저장하기 위한 강력한 데이터 관리 (data management) 모델을 갖추고 있으며, 각 디바이스의 설계와 관련하여 수익률을 정확하게 예측할 수 있습니다. KLA/TENCOR Puma 9120 (KLA/TENCOR Puma 9120) 은 모듈식 장비로, 사용자의 구체적인 요구를 충족하도록 손쉽게 맞춤 구성하고 구성할 수 있습니다. 또한 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 운영자가 시스템 구성, 설정, 측정 등에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 초저진동 및 음향 소음 수준은 클린 룸 (cleanroom) 환경에서 사용하기에 적합합니다. 전반적으로 KLA 푸마 9120 (KLA Puma 9120) 은 빠르고 정확한 결과를 제공하고 반도체 생산 비용을 절감하도록 설계된 고급 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 설치, 구성, 운영이 간편하며, 모듈식 설계를 통해 특정 애플리케이션에 맞게 손쉽게 구성할 수 있습니다. 프로세스 제어 및 장애 감지를 위한 경제적이고 안정적인 솔루션입니다.
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