판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9120-IS #9016502
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KLA/TENCOR Puma 9120-IS는 반도체 산업에 사용되는 완전 자동화 웨이퍼 도량형 및 테스트 장비입니다. 0.1 미크론 크기의 작은 기능을 포함하여 집적 회로 (IC) 의 전기 및 물리적 특성을 측정 및 분석 할 수 있습니다. KLA Puma 9120-IS에는 강력한 광학 현미경 시스템 (CCD 카메라 사용) 과 확대 렌즈 (magnifying lenses) 가 장착되어 장치 구조와 웨이퍼의 다른 특징을 측정합니다. 5x5 미크론 해상도의 이미지를 캡처할 수 있으며, 3D 깊이 30 나노미터보다 작은 기능을 캡처할 수 있습니다. 이 장치는 또한 최대 30 미크론 (micron) 의 선형 (linear) 및 각도 (angular) 패턴을 측정하여 미세한 수준의 정밀도를 가능하게합니다. 장치의 성능을 특성화, 분석 및 해결하기 위해 기계는 wafer-to-wafer 활성 정렬 측정, CMM (좌표 측정 기계) 및 VASE (variable angle spectroscopic ellipsometry) 를 포함한 다양한 기술을 사용합니다. 고급 분석 측정을위한 세 가지 도구를 사용자에게 제공함으로써 TENCOR Puma 9120-IS (TENCOR Puma 9120-IS) 는 IC의 전기 및 물리적 특성화를위한 뛰어난 플랫폼입니다. Puma 9120-IS (Puma 9120-IS) 는 테스트 기능 측면에서 표면 측정, 조사, 전기 프로토콜 테스트, 누수 기판 테스트, 다이 풀 테스트 등 다양한 테스트를 수행 할 수 있습니다. 또한 다양한 디바이스 (예: DRAM, 플래시 디바이스, EPROM, OTP, LCD) 에 대한 웨이퍼 수준 향상 테스트를 수행할 수 있습니다. 또한 Puma는 최대 200mm 직경 웨이퍼에 대한 자동 웨이퍼 처리를 지원합니다. 또한 알고리즘과 사용자 정의 기준에 의한 자동 검토 (automatic review by algorithm and user-defined criteria) 기능을 갖춘 통합된 결함 검토 툴을 제공하여 문제를 더욱 신속하게 해결할 수 있습니다. KLA/TENCOR Puma 9120-IS (KLA/TENCOR Puma 9120-IS) 는 측정값의 정확성과 정밀도를 제공하는 고성능 기기로, 집적 회로의 특성, 테스트 및 문제 해결에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 다양한 집적 회로를 처리하고, 자동 초점 (auto-focus) 및 자동 측정 (auto-measure) 기술을 지원함으로써 정확한 결과를 보장하고 시간을 절약할 수 있습니다.
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