판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9100 #9023788

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ID: 9023788
빈티지: 2006
Pattern defect inspection system, 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9100 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 도량형 및 검사 분야의 세계적인 리더 인 KLA Corporation의 최신 제품입니다. 이 다목적 시스템은 광범위한 고급 패턴화 (patterning) 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. KLA Puma 9100의 고급 패턴 기능: 전체 칩 자동 광학 검사 (AOI), 자동 프로세스 제어 (APC), 저항 감지, 결함 감지 및 정량화 된 결함 분석. 또한 강력한 프로세스 최적화 (process optimization) 기능을 제공하여 특정 요구 사항에 따라 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. TENCOR Puma 9100은 가능한 가장 상세한 이미지를 캡처하는 고급 옵틱 및 이미징 기술을 갖추고 있습니다. 빠르고 정밀한 광학은 서피스 및 서브 서피스 피쳐를 빠르게 감지 할 수 있습니다. TENCOR 독점 OTS (Orthogonal Transfer Unit) 는 샘플을 회전하지 않고 한 쪽에서 패턴 웨이퍼를 신속하게 검사하고 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. 푸마 9100 (Puma 9100) 에는 다양한 해상도를 위해 4 개의 개별 카메라 모듈이 장착되어 있으며, 사용자가 웨이퍼의 다양한 영역을 쉽게 검사 할 수 있습니다. ResolveMax (tm) 이미징 소프트웨어는 사용자가 웨이퍼 구조를 포괄적으로 볼 수 있도록 하며, 이를 통해 결함을 측정, 감지, 정량화할 수 있습니다. KLA/TENCOR Puma 9100은 또한 KLA/TENCOR 도량형 도구를 통해 고급 도량형 기능을 제공합니다. 사용자는 컴퓨터의 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 에 원격으로 액세스하여 선 너비를 측정하고, 레이아웃을 검토하고, 공차를 설정할 수 있습니다. 이러한 도구를 통해 사용자는 신속하게 결함을 발견하고 필요한 수정 조치를 취할 수 있습니다. KLA는 안정적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션으로 KLA Puma 9100을 만들었습니다. 이 도구는 가장 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공하면서 견고하고 내구성을 갖추도록 설계되었습니다 (영문). 자산의 고급 기능 (advanced features) 과 툴 (tools) 은 프로세스를 최적화해야 하는 프로세스 엔지니어에게 이상적인 선택입니다.
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