판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000D #9406885

ID: 9406885
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Darkfield inspection system, 12" EFEM: Dual FIMS (EFEM) with Phoenix handler GEM, SECS and HSMS 4-Color signal light tower: R,Y,G,B VANGUARD UV Laser head, 1W Laser wavelength: 365nm Selectable Scan Line (SL): SL10/15/20/40/60 (2) ISOPORT Loadports FEC Interlock controller ACDC Power YASKAWA Controller Stage: X, Y and Theta stage installed stage locking jig PS2 / X,Y1,Y2,ADSC Amp SMAC and X-Flex board 2-FVPA (Rear FVPA missing) PS1 and Z Amp missing Optic AF Camera Line scan camera CIB 1,2,3 Board XTC Board AF Unit AFSB Focus missing CH2 Line scan camera missing Laser power supply Laser head Galil board (3-Channels) User interface: IMC System (Mercury and host PC) SCC (HDD Missing) Monitor Keyboard Joystick Blower box Line conditioner UI and IS Connected cable Exhaust hose 2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D는 고성능 광학 및 자동 검사를 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 3D 장치 특성화에 대한 높은 정확도와 정밀도를 측정하도록 특별히 설계되었습니다. 소음 대비 신호 비율이 뛰어난 미크론 (micron) 수준의 해상도를 제공하여 반도체 업계에서 검사하기에 점점 더 안정적입니다. 이 장치의 핵심에는 고급 광학 도량형 기능이 있습니다. 이중 파장 분광계 (Dual-wavelength spectrometer) 는 광범위한 광원을 사용하여 웨이퍼 서피스의 여러 점에서 두께, 광학 특성, 플랫 (flatness) 과 같은 장치 매개변수를 측정합니다. 분광계는 라인 스캐닝 (line scanning) 및 다중 회절계 (multiple diffractometer) 를 사용하여 극한의 해상도와 정확도를 가진 피쳐를 감지합니다. 또한, 분광계에는 자동 경로 계획 (automated route plan) 이 장착되어 있어 모든 웨이퍼의 서피스 프로파일을 빠르고 정확하게 만들 수 있습니다. KLA Puma 9000D는 고급 자동 검사도 제공합니다. 고해상도 3D 이미징 머신은 굴절 및 반사 도구를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면의 분 피쳐를 감지합니다. 3D 이미징 도구는 선 너비, 종횡비, 구멍 깊이, 열 응력 등 다양한 장치 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. 또한, 이 자산에는 자동화된 결함 검토 분석기 (Automated Defect Review Analyzer) 가 장착되어 있어 맨눈에 보이지 않을 수 있는 작은 표면 결함을 감지하고 보고할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도 TENCOR PUMA 9000 D에는 사용자 효율성을 높이기 위해 설계된 여러 가지 고급 소프트웨어 기능이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 다양한 형식의 장치 데이터 (device data) 를 제공할 수 있는 정교한 결함 기능 매핑 프로그램이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 또한, 정확하고 반복 가능한 측정이 가능한 대규모 결함 알고리즘 라이브러리에 액세스 할 수 있습니다. 검사 시간을 줄이고 정확도를 향상시킬 수 있습니다. Puma 9000D는 고성능 검사 서비스를 제공하도록 설계된 매우 향상된 장비입니다. 고급 광학 및 자동 검사 (optical/automated inspection) 기능을 통해 미크론 수준에서 안정적이고 정확한 측정이 가능합니다. 또한 소프트웨어 기능은 강력하고 사용자 친화적인 기능으로, 데이터를 쉽게 분석하고 해석할 수 있습니다. 고급 기능을 갖춘 PUMA 9000 D 는 반도체 업계의 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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