판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000D #9184157

KLA/TENCOR Puma 9000D는 웨퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 장비로 최고 수준의 수율과 수율을 보장하는 탁월한 정확성과 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 검사 (Advanced Wafer Inspection) 와 자동 도량형 (Automated Metrology) 을 결합하여 웨이퍼에 나타나는 결함을 확인하고 측정합니다. KLA Puma 9000D (KLA Puma 9000D) 는 오늘날의 고밀도 웨이퍼에 대한 매우 작은 결함을 파악하고 측정하는 데 탁월한 정확성과 속도를 제공합니다. TENCOR PUMA 9000 D의 자동 도량형 장치는 최대 2µm/second의 속도로 1õm에서 5äm 사이의 넓은 웨이퍼 영역에 걸쳐 기능을 정확하고 빠르게 측정합니다. 또한 CD, 선형 피치, 선 너비, 단계, 돌출 높이 등 웨이퍼 서피스의 다양한 기능을 측정합니다. 이미징 측면에서, PUMA 9000 D는 넓은 시야를 가진 HD 이미징 기능을 제공하여 각 결함에 대한 통찰력을 제공하고 측정 정확성을 검증합니다. 넓은 시야에 초당 480 개의 이미지를 제공하는 다중 비전 모드 (옵션) 기능이 있습니다. 고급 이미지 처리 알고리즘은 스크래치, 입자, 전위 (dislocation) 를 포함한 웨이퍼 결함을 전례없이 정확하게 감지하고 측정합니다. 기계의 고정밀 선형 단계도 참조 정밀도를 제공합니다. 고정밀 드라이브 기술은 미크론 수준의 정밀도를 제공하여 매우 정확한 측정이 가능합니다. 그리고 KLA PUMA 9000 D는 Air Scanning Module을 통해 오늘날 가장 작은 장치에 대한 다양한 검사 기능을 제공합니다. 또한 개방형 아키텍처와 모듈식 (modular) 설계를 통해 간편하고 경제적인 맞춤형 구성과 툴을 업그레이드할 수 있습니다. 내장된 자동 초점 기능, 자동화된 웨이퍼 로딩 및 추적 기능 (wafer loading and tracking) 을 통해 운영자 기술 요구 사항을 최소화하고 자산을 운영 라인에 신속하게 통합할 수 있습니다. 최고 품질의 결과를 얻기 위해 Puma 9000D는 포괄적이고 직관적인 운영자 제어 및 보고 기능을 제공합니다. 여기에는 각 결함 및 해당 위치에 대한 보고서를 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 내에 작성하는 자동화된 결함 보고 (automated defect reporting) 모델이 포함됩니다. 또한 통합 및 단순화된 프로세스 제어를 위한 Global Defect Control 옵션도 제공합니다. TENCOR Puma 9000D는 오늘날의 생산 요구사항을 충족시키는 데 꼭 필요한 탁월한 정확성과 속도를 제공합니다. 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기술을 갖춘 KLA/TENCOR PUMA 9000 D는 고수율, 고품질 웨이퍼를 보장하는 효율적인 솔루션을 제공합니다.