판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000 #9378722

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ID: 9378722
Darkfield inspection system.
KLA/TENCOR Puma 9000 Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 장치 제조업체를위한 매우 정확하고 높은 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형 결과를 제공하기 위해 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 스캔 및 측정 기능을 갖춘 KLA Puma 9000은 이전 버전의 Puma 시리즈에 비해 훨씬 향상된 성능, 정확성, 처리량을 제공합니다. TENCOR Puma 9000의 주요 구성 요소에는 최첨단 CCD 비전 장치, 풀 스코프 영역 배열 포토 esist 도량형 기계, 완전 자동화 된 사양 스캐닝 및 도량형 분석 도구가 포함됩니다. CCD 비전 (CCD vision) 도구를 사용하면 웨이퍼의 상단 및 하단 서피스를 완전히 검사할 수 있으며, 영역 배열 포토레지스트 도량형 (Area-Array photoresist Metrology) 에셋을 사용하면 웨이퍼의 필름 두께와 서피스 프로파일을 매우 정확하게 특성화할 수 있습니다. 자동화된 사양 스캐닝 및 도량형 분석 툴셋은 고효율적인 데이터 수집, 자동화된 기능 특성, 데이터 처리, 오류 수정, 통계 분석, 상세 보고 기능을 제공합니다. 푸마 9000 (Puma 9000) 에는 다양한 고급 사용자 구성 가능한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있으며, 사용자는 모델을 특정 웨이퍼 프로세스 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 고급 기능 감지 및 특성, 포괄적인 오류 수정 기능, 자동 스캔 및 도량형, 내장형 모델 기반 결함 감지/수리, 통계 데이터 분석/보고 등이 포함됩니다. KLA/TENCOR Puma 9000 (KLA/TENCOR Puma 9000) 은 거친 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 완전히 자동화된 산업용 케이스는 먼지와 부식을 방지하도록 설계되었습니다. 또한 KLA Puma 9000은 프로그래밍 가능한 광학 필터, 잘못된 전원 공급 전압 방지 (protection to incorrect power supply voltage), 서지 보호 (surge protection) 등 다양한 고급 전기 및 광학 보호 기능을 사용하여 가장 공격적인 환경에서도 높은 성능과 정확성을 보장합니다. 전반적으로 TENCOR Puma 9000은 매우 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 CCD 비전 시스템, Area-Array Photoresist Metrology Unit, 자동 분석 도구, 맞춤형 소프트웨어 패키지를 갖춘 Puma 9000은 최고의 정확도, 속도, 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 반도체 장치 제조.
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