판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000 #81748
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판매
ID: 81748
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Darkfield Defect Inspection Tool, 12"
Main Computer: DELL Power Edge 2600, 2x Intel Xeon CPU 2,8 GHz, 2GB RAM, Bus Speed 533
MHz, L2 cache: 512 kB
Image PC: Mercury, SN: Z2111
(Qty 2) 12" loadports Asyst 300FL, S3 STD, KT07
Wafer ID reader "Cognex 1701"
Main Power Input: 208V, 3ph,
12" robot with one endeffector (fork)
Subequipment: Blower (KLA-Tencor)
Disk-Management: Array: PERC 4/Di
Disk 0: 546 GB
C: 20 GB, D: 50 GB, E: 426 GB, Z: 50 GB
Main Computer: Windows 2000 Server Family, 5.00.2195, SP4, BIOS Rev. A10
Application: Ver 9.1.703_2, 14. Q4 2007
Last Software upgrade from 9.1.424 to 9.1.703 on 15. Q1 2008
Cougar 9.1.703, 14.Nov 2007
Wafer Inspector V.9.1.703_2
CE Marked
2004 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고속 옵티컬, x-ray, 웨이퍼 브로드캐스트 및 결함 검토 기능을 고유하고 검증된 플랫폼에 결합합니다. 클라푸마 9000 (KLA Puma 9000) 은 임계 치수 구조의 신속한 비접촉 검사부터 프로세스 민감성 패턴의 결함 검토까지 모든 도량형 응용 프로그램에서 최고의 성능과 가치를 제공합니다. TENCOR Puma 9000 (TENCOR Puma 9000) 은 웨이퍼 제조업체에 가장 높은 해상도의 이미지, 빠른 처리량 및 성능을 제공하여 미묘한 결함을 신속하게 감지하도록 설계되었습니다. Puma 9000 (Puma 9000) 은 사용자에게 가장 어려운 고급 노드 설계 규칙을 검사하는 데 필요한 고급 도구를 제공합니다. 시스템의 5-QX x-ray 검출기는 높은 정확도 CD 측정을 위해 최대 8 개의 레이저를 사용하며, 업계에서 가장 빠른 풀 웨이퍼 브로드캐스트 속도를 가지고 있습니다. 또한 비교할 수없는 x-ray 및 CDS 측정을위한 이중 파장 구성이 특징입니다. KLA/TENCOR Puma 9000은 픽셀 크기가 3 미크론 인 업계 최고의 해상도의 디지털 이미징 장치를 제공합니다. 이 기계의 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘을 사용하면 정밀도가 가장 높은 매우 작은 피쳐를 감지하고 분석할 수 있습니다. 자동 결함 검토 (Automated Defect Review) 기능은 수동 뷰가 필요 없으며 신속하게 결함을 파악하기 위한 프로세스를 간소화합니다. 향상된 Line Matching 알고리즘 및 고급 Line Positioning/Tracking 기능을 통해 KLA Puma 9000은 가장 높은 도량형 정확성을 보장합니다. 또한 TENCOR Puma 9000 은 자동화된 스크립트와 데이터 수집 툴을 통해 툴을 제어할 수 있는 최신 자동화/접속 기능을 제공합니다. 바코드 레이블 리더기 (옵션) 와 자동화된 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 이 포함되어 있어 성능과 유연성이 더욱 향상됩니다. 또한 Puma 9000의 이더넷/IP 및 USB 포트를 통해 외부 시스템과 쉽게 상호 작용할 수 있습니다. KLA/TENCOR Puma 9000은 업계의 다양한 요구를 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. 유연성 있는 설계와 고급 기능을 통해 고객은 도량형 (metrology) 및 테스트 (testing) 애플리케이션에서 사용할 수 있는 최고의 성능과 최상의 가치를 누릴 수 있습니다.
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