판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000 #293607038
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KLA/TENCOR Puma 9000은 KLA에서 개발 한 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 수준의 측정 (measurement) 및 분석 (analysis) 기술을 구현하여 광범위한 반도체 엔지니어링 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 실시간 분석, 검사, 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 최고의 웨이퍼 수율 (wafer yends) 및 최적의 제조 조건을 보장합니다. 이 기계는 웨이퍼 검사 및 도량형을위한 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 결함 감지를 위한 고급 패턴 인식 소프트웨어 (pattern recognition software) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 초기 다이 스트립 (die-strip) 정렬에서 최종 제품의 광학 성능 (optical performance) 평가에 이르기까지 프로세스를 완전히 제어할 수 있습니다. 또한 수율 개선 목적으로 사용할 데이터를 효율적으로 생성하는 수단을 제공합니다. KLA Puma 9000 은 동급 최고의 속도와 정확성을 함께 제공하며, 운영 시간과 처리량을 최적화합니다. 이 도구는 최대 1 미크론 해상도로 시간당 최대 25 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 한 번의 스캔을 통해 웨이퍼 전체에 걸쳐 여러 위치를 자동으로 측정, 분석할 수 있는 높은 처리량, 비접촉 (non-contact) 단계를 갖추고 있습니다. 자산의 이미징 기능은 0.3 미크론 정도의 소형 웨이퍼 기능을 캡처 할 수 있습니다. TENCOR Puma 9000 은 호스트 프로세스 제어 시스템과 통합되어 모듈, 툴, 모델 수준에서 데이터 수집 및 분석 기능을 제공합니다. 이를 통해 프로세스 최적화 (process optimization) 를 통해 공급업체가 처리량을 늘리고 변경 처리에 신속하게 대응할 수 있습니다. 또한, 장비는 다양한 레시피와 호환되므로, 용도에 맞는 결함 감지 (fit-for-purpose defect detection) 및 프로세스 제어 알고리즘의 전송을 보장합니다. 전반적으로 Puma 9000은 고성능 통합 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 레시피 기반 프로세스 제어와 함께 자동 검사 및 웨이퍼 도량형을 허용합니다. 이 시스템은 프로세스 및 수익률의 제어를 개선하여 빠르고 안정적인 도량형 (metrology) 및 결함 (defect identification) 을 가능하게 하여 결과의 정확성과 반복성을 향상시킵니다.
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