판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000 #293606939

KLA/TENCOR Puma 9000은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고정밀 자동 장비입니다. 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 고급 광학 (advanced optics) 과 검사 알고리즘 (inspection algorithm) 을 사용하여 하위 표면 도량형 및 결함 검사를 수행 할 수 있습니다. 시스템의 주요 구성 요소는 레이저 기반 광학 센서이며, 이는 웨이퍼 기능 (예: 마이크로 및 나노 구조) 을 미시적으로 분석 할 수 있습니다. 이 단위는 고해상도 (high resolution) 수준을 달성하여 몇 나노미터 이내에서 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 특수 빔 포지셔닝 머신 (beam positioning machine) 을 사용하여 3D 피쳐를 매핑하고 분석할 수도 있습니다. 자산에는 웨이퍼 (wafer) 특성에 대한 고급 분석이 가능한 툴과 소프트웨어 제품군이 설치되어 있습니다. 패턴 인식 알고리즘 세트를 사용하여 단일 웨이퍼 (wafer) 내에서 결함을 식별할 수 있습니다. 이 모델은 또한 확장 가능하여 사용자가 테스트와 측정을 더욱 사용자 정의할 수 있습니다. 클라푸마 9000 (KLA Puma 9000) 은 결함 검사 기능 외에도 프로세스 제어 및 수율 관리 목적으로 표면 토폴로지 및 기타 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 여기에는 웨이퍼 저항성 및 균일 성 측정이 포함될 수 있습니다. TENCOR Puma 9000은 완전히 자동화되어 높은 처리량과 주기 시간을 달성할 수 있습니다. 여기에는 포괄적인 데이터 기록 보존, 기존 시스템과의 통합, 테스트 결과의 완벽한 추적 가능성, 프로세스 레시피, 하드웨어 구성 등이 포함됩니다. 이 장비는 또한 신뢰성이 높으며, 무결점 성능 기록으로 현장 테스트를 거쳤습니다. 전반적으로 Puma 9000은 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고급 도량형 시스템입니다. 고해상도 (High Resolution), 정확도 (Accuracy), 고급 정밀 검사 및 측정이 가능한 다양한 기능과 최적화 기능을 제공합니다. 자동화 및 추적 능력 (Traceability) 기능을 통해 운영 환경에 이상적인 솔루션을 제공합니다.