판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000 #293603934

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ID: 293603934
빈티지: 2005
Darkfield inspection system M/N: KLA-PUMA9000D-IS User interface Power rack Blower RCS EFEM Light curtain 2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000은 통합 반도체 장치의 정확한 측정을위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 업계의 품질과 생산성을 향상시키고 공정 제어 (Process Control), 제품 개발 (Product Development), 제조 램프 (Manufacturing Ramps) 를 위한 정확한 측정 기능을 제공하도록 설계되었습니다. KLA Puma 9000은 고급 광학 및 진동 감지 (Vibration Sensing) 기술을 사용하여 정확한 측정을 신속하게 수행하고 결함의 징후를 정확하게 식별합니다. 이 시스템은 공통 (Common) 및 고급 치수 (Advanced Dimensions), 불일치 (Misalignment) 및 패턴 결함 (Pattern Defect) 을 포함하여 중요한 피쳐를 감지하고 평가하는 고해상도 이미징 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 이 시스템에는 일반적인 결함을 식별하는 강력한 패턴 인식 소프트웨어 (pattern recognition software) 와 실행 가능한 성능 데이터를 제공하는 강력한 통계 분석 모듈 (statistical analysis module) 이 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 3D 고급 오버레이 보상 및 측정을 통해 결함 감지 및 정렬 정확도를 향상시켜 DUT (device under test) 를 계측 할 수 있습니다. 또한 까다로운 테스트 조건에서도 비표준 결함 섹션을 감지 할 수있는 고급 웨이퍼 에지 (wafer-edge) 감지 에셋을 제공합니다. TENCOR Puma 9000은 장기적인 안정성과 정확성을 위해 설계되었으며, 시간이 지남에 따라 데이터를 수집하고 분석할 수 있습니다. 게다가, 이 모델은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 원격 작업 기능 (remote operation capability), 다중 자동화 수준 (multiple automation level) 을 통해 손쉽게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. R&D 및 프로덕션 환경에서 사용할 수 있으며, 웨이퍼 크기와 부품 유형이 다양합니다. 이 장비는 또한 종합적인 웨이퍼 모델 (wafer model) 및 식별 방법을 통합하여 필요할 때 신속하게 재구성할 수 있습니다. 전반적으로 Puma 9000은 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. 최첨단 광/진동 감지 (Optical/Vibration Sensing) 기술과 종합적인 웨이퍼 (Wafer) 모델 라이브러리, 부품 식별 방법을 통해 모든 반도체 제조업체의 요구를 충족하는 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 원격 운영 기능을 제공하여 빠르고, 안정적이며, 사용자 친화적입니다.
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