판매용 중고 KLA / TENCOR Puma 9000 #293603827
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KLA/TENCOR Puma 9000은 반도체 장치의 생산 및 개발 프로세스를 향상시키기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전체 표면에 대한 웨이퍼를 측정하고 특성화하는 포괄적이고, 정확하고, 비용 효율적인 방법을 제공합니다. KLA Puma 9000에는 정확성과 분석 속도를 향상시키기 위해 자동 웨이퍼 처리 시스템 (Automated Wafer Handling System) 이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 고급 카메라 (advanced camera) 와 스캐닝 머신 (scanning machine) 이 포함되어 결함 및 기능에 대한 감지 감도가 향상되었습니다. 이러한 고급 기능을 통해 연구원은 가장 미세한 세부 사항조차도 감지하고 분석 할 수 있습니다. 스펙트럼 라이브러리를 사용하면 신호 프로파일을 식별하고 분류할 수 있습니다. 이를 통해 자동화된 테스트 작업을 개선하고 보다 복잡한 특성화 연구를 수행할 수 있습니다. 또한 테스트 계획 (Test Plan) 을 개발하고 분석하는 데 도움이 되는 강력한 소프트웨어 패키지에 의해 지원됩니다. 따라서 사용자는 전체 테스트 순서를 매핑할 수 있습니다. 즉, 각 wafer 에서 파생된 정보를 최대화할 수 있습니다. TENCOR Puma 9000에는 전면 및 후면 사진 정의 레이어 모두에 사용되는 High-Power LDI (Laser Direct Imaging) 도구가 있습니다. 이것은 도량형 챔버 확장 로더 (Metrology Chamber Expansion Loader) 와 함께 제공되며, 앞쪽에서 또는 뒤에서 모든 크기의 샘플을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 에셋에는 지정된 웨이퍼 컨투어에서 피쳐 테스트를 분석 할 수있는 고급 이미지 분석 도구 (Enhanced Image Analysis Tool) 가 제공됩니다. 이 모델은 또한 향상된 임계 치수 측정 (Enhanced Critical Dimension Measurement) 을 제공합니다. 이 측정은 웨이퍼에서 지정된 피쳐의 형상 특성을 검사하는 데 사용됩니다. 마지막으로, Puma 9000에는 개별 웨이퍼에서 측면 움직임을 감지 할 수있는 매우 민감한 도구 인 Fast Scanning WaferMap이 장착되어 있습니다. 이를 통해 연구원들은 시간이 지남에 따라 지역 균주 및 웨이퍼에 대한 열 영향을 조사 할 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR Puma 9000은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 엄청나게 포괄적이고 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. 향상된 이미지 검출 (image detection) 에서 정교한 소프트웨어 도구의 범위에 이르기까지, KLA Puma 9000은 정확성과 속도를 높이는 완벽한 솔루션입니다.
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