판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE #9220778
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판매
ID: 9220778
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Measurement system, 8"
Hardware configuration:
Main body:
Patterned wafer thickness measurement, 8" wafer
Install type: Stand-alone
Source: XENON Arch lamp
Handler:
H2, 8"
Robot & pre-aligner
Straight type fingers
Facilities:
CDA: >100 PSi (1/4" Swagelock connection)
Vacuum: >-25 inHg (1/4" Swagelock connection)
(2) Systems / Handlers
Peripherals: Floppy drive (1.44 MB), 3.5”
Operating system: Windows NT
Options:
SE
DBS
SECSII
Power & facilities:
Power supply: 110 V, 1 Phase, 3 wire, 50/60 Hz
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250SE는 반도체 산업의 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 장비입니다. 레티클 검사, 웨이퍼 고해상도 결함 감지, OCD (optical critical dimension) 도량형, 오버레이 측정 등 다양한 분석 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 빠른 스캐닝 레이저 투사 장치 (fast-scanning laser projection unit) 로 구동되며, 넓은 시야에서 높은 해상도의 측정 기능을 제공합니다. 레이저 투영기는 자동화된 이미지 처리 (automated image processing) 와 통계 분석 (statistical analysis) 의 조합으로 검사되는 웨이퍼의 3차원 프로파일을 생성합니다. 이 도구는 스크래치 (scratch) 와 같은 기계적 결함, 언더커팅 (undercutting) 및 브리징 (bridging) 과 같은 전기 결함 등 웨이퍼에서 다양한 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. KLA UV-1250SE는 OCD 측정을위한 고급 기술을 갖추고 있습니다. 초점이 높은 정밀도를 유지하면서 x 방향과 y 방향 모두에서 웨이퍼를 이동할 수있는 통합 3 축 단계를 사용합니다. 에셋은 웨이퍼의 x 및 y 치수를 최대 0.5 미크론 해상도로 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 강력한 오버레이 (overlay) 측정 기능을 제공하여 웨이퍼 상의 여러 레이어의 정렬 정확도를 측정하고, 어셈블리 프로세스의 정확성을 보장할 수 있습니다. TENCOR UV 1250 SE는 또한 데이터 수집 및 장비 제어를 위한 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. 시스템은 사용자 정의 설정과 레시피로 프로그래밍 할 수 있으며, 제어 인터페이스 (Control Interface) 는 장치 진행 상황을 실시간으로 시각화 (Visualization) 하여 연산자가 필요할 때 적시에 조정할 수 있습니다. 또한, 머신 (machine) 은 설치 및 보정이 용이하여, 사용자가 매번 도구를 재구성하지 않고도 웨이퍼 (wafer) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 빠르게 이동할 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX UV 1250 SE는 반도체 산업의 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 훌륭한 자산입니다. 이 제품은 높은 정확도와 해상도, 빠른 처리 속도, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖추고 있어 반도체 제품의 안정성과 정확성을 보장하는 이상적인 솔루션입니다.
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