판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE #9195758

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250SE는 최고의 생산성과 정확성을 제공하도록 설계된 고성능, 반도체 도량형 및 검사 도구입니다. 이 장비는 실리콘, 갈륨 비소, 유리 등 다양한 재료에 대한 임계 치수, 오버레이, 모서리 프로파일, 패턴 형태를 동시에 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 독점적 인 in-situ optics 플랫폼을 사용하여 제작하는 동안 24/7 웨이퍼 테스트를 수행할 수 있습니다. KLA UV-1250SE는 UV 레이저 광원, 투과성 및 반사 광학, 동적 초점 제어, 고급 에지 감지 알고리즘을 통합하여 웨이퍼에서 고정밀 데이터 포인트를 획득하고 분석하는 완전 자동화 유닛입니다. 광학 머신은 비교적 넓은 현장 심도와 빠른 응답 시간으로 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 유연한 노즐 방향과 스캔 모드 (scan mode) 를 갖추고 있어 넓은 테스트 영역의 처리량을 측정할 수 있습니다. 또한, 이 툴을 신속하게 재구성하여 다양한 애플리케이션에 대한 가장 까다로운 테스트 조건 (Test Condition) 을 충족할 수 있습니다. 에셋은 고해상도를 제공하여 스텝 높이 (step height), 결함 크기 (defect sizes), 스크래치 깊이 (scratch depth) 와 같은 서피스 피쳐의 미묘한 차이를 감지할 수 있습니다. 또한 고급 검사 알고리즘을 사용하여 패턴화된 장치 (patterned device) 와 패턴화되지 않은 장치 (non-patterned device) 모두에 대해 다양한 잠재적 라인 너비, 피치 및 임계 치수 (critical dimension, CD) 관련 결함을 감지합니다. 또한, 자동화된 모서리 탐지 알고리즘을 통해 모델은 정확한 오버레이 측정을 위해 장치 피쳐를 정확하게 찾을 수 있습니다. 이 장비에는 깨끗한 작업 환경을 유지하기 위해 통합 된 환경 제어 및 Class-1000 HEPA 필터가 있습니다. 고급 자동 초점 보정을 사용하면 다양한 두께의 웨이퍼 간에 일관된 성능을 유지할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 직관적이며, 검색된 웨이퍼 (wafer) 의 테스트 데이터와 이미지를 모두 읽기 쉽게 표시할 수 있습니다. 또한, 정교한 소프트웨어 패키지에는 테스트 결과가 사전 설정 기준을 충족하지 못할 때 자동으로 경고되는 (automated alert) 기능이 포함되어 있습니다. 사용자는 보안 웹 기반 인터페이스를 사용하여 원격으로 시스템 데이터를 액세스하고 검토할 수 있습니다. TENCOR UV 1250 SE의 또 다른 장점은 구성성입니다. 사용자는 특정 요구에 맞게 장치를 사용자 정의하여 구성할 수 있습니다. 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 와 셔터 (shutter) 와 같은 주변 장치 (peripheral device) 를 추가하여 정밀도 및 테스트 속도를 높일 수 있으므로 사용자의 시스템 결과를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR UV-1250SE는 뛰어난 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 사용자에게 탁월한 속도, 정확성 및 유연성을 제공합니다. 자산의 고급 (advanced) 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.