판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE #9161753

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ID: 9161753
Thin film measurement system Missing parts: SE Detector Filed illumination shutter UV Cutoff filter Currently warehoused.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250SE는 반도체 산업을위한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 기능으로는 물리적 특성의 정밀 측정, 결함 분석, 필름 두께 측정, 결함 로컬라이제이션 등이 있습니다. KLA UV-1250SE에는 강력한 자외선 레이저 소스 (UV-1250SE) 가 장착되어 있어 고밀도 패턴 레이어 (Patterned Layer) 와 더 작은 레이어 및 기능을 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 재료의 곡물 크기 분포 (grain size distribution) 와 다른 물리적 특성을 측정 할 수도 있습니다. 레이저 간섭계 (Laser interferometry) 는 다양한 표면 재료의 정확한 높이, 기울기 및 그림 측정을 제공합니다. TENCOR UV 1250 SE는 자동 결함 검토 및 SPC (Statistical Process Controls) 와 같은 추가 기능도 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 감지하고 정량화하도록 설계되었으며, 결함 영역 이미지는 단 몇 초 만에 생성됩니다. 결함 로컬라이제이션 기능을 통해 사용자는 각 결함의 위치와 크기를 정확히 파악할 수 있습니다. 이 장치는 최고 해상도의 이미징을 위해 가장 고급 도량형 및 이미징 시스템을 사용합니다. 배율과 정확도가 가장 높은 나노 미터 위치 정확도를 사용할 수 있습니다. 또한 단일 서피스 내의 여러 지점에서 측정할 수 있는 이중 포트 스캐닝 (Dual-Port scanning) 도구가 있습니다. 자동화 및 최적화를 위해 PROMETRIX UV 1250SE는 포괄적인 스크립팅 언어와 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 를 갖추고 있습니다. 따라서 복잡한 프로세스를 자동화하고 사용자 수준 기능을 사용자 정의할 수 있습니다. 자산은 또한 광범위한 데이터 출력 옵션과 데이터 스토리지 기능을 제공합니다. UV-1250SE는 반도체 제조에 이상적인 선택으로, 뛰어난 성능과 장기적인 신뢰성을 제공합니다. 이 모델의 뛰어난 정밀도 (precision) 및 종합적인 기능을 통해 다양한 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 및 도량형 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.
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