판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9295096
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ID: 9295096
Thin film measurement system
Prometrix UV-1080
Max wafer capable: 200mm
Computer: Intel Pentium III
Operating system: Windows NT
(2) Open cassette stations
PRI / EQUIPE Pre-aligner (Auto-find notch flat)
Pattern recognition type:
COGNEX 5400
GENS / SECS II
RS-232
Ethernet adapter.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 다양한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정하도록 설계된 다목적 도구입니다. KLA UV 1080은 고급 웨이퍼 매핑 구성을 특징으로하며, 여기서 최대 8 개의 독립 테스트 포인트를 배포할 수 있습니다. 이러한 각 요점은 검사, 측정, 결함 분석 등의 특정 작업을 수행하기 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. TENCOR UV-1080에는 3 차원 풀 필드 2D 도량형 기능도 있습니다. 이를 통해 정확한 3D 광학 및 전기 측정이 가능하며, 이는 웨이퍼의 표면 구조를 확인하는 데 사용될 수 있습니다. UV 1080은 가시 (visible) 및 자외선 (ultraviolet) 범위 모두에서 웨이퍼의 고해상도 이미지를 생성 할 수 있습니다. 흥미롭게도, 자외선 (UV) 범위는 가시 범위에서 보이지 않을 많은 유형의 결함을 식별 할 수 있습니다. 이것은 최신 OIT (Objective Imaging Technology) 를 사용하여 웨이퍼 결함에 대한 매우 민감한 이미지를 캡처하는 Defect Imaging 기능을 통해 수행됩니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080은 또한 다양한 SPC 도구를 제공하여 웨이퍼의 일관성과 품질을 모니터링할 수 있습니다. 이러한 도구는 두께, 비균일성, 저항성과 같은 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 자동 웨이퍼 (wafer) 정렬 프로세스를 실행하는 데 사용될 수 있으며, 이는 최고 품질의 웨이퍼를 보장하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 UV-1080은 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 매핑 기능, 고해상도 이미징, SPC 도구 등 다양한 강력한 기능을 제공합니다. PROMETRIX UV-1080 은 이러한 기능을 활용하여 결함을 최소화하고 최고 품질의 웨이퍼 (wafer) 를 보장할 수 있습니다.
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