판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9285228

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
판매
ID: 9285228
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 전기 특성, 표면 구조, 결함 등 웨이퍼로부터 자세한 정보를 분석 및 얻는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 현미경 목표, 회절 렌즈, 레이저로 구성된 고급 광학 시스템 (Advanced Optics System) 은 다양한 웨이퍼 재료에 대한 고해상도 이미징을 가능하게합니다. 이를 통해 단위는 구조 결함, 입자 및 기타 우려의 원천, 그리고 두께, 에치 깊이 (etch depth), 서피스 지형 (surface topography) 과 같은 측정을 수행하는 데 이상적입니다. 이 기계는 또한 정밀 웨이퍼 스테이지, 선형 (linear) 및 회전 모터, 인코더로 구성된 고급 동작 도구를 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 웨이퍼 (wafer) 정렬을 통해 에셋이 놀라운 반복성으로 단일 웨이퍼의 여러 사이트를 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 소형 다이 (small die) 에서 전체 웨이퍼 (whafer) 까지 다양한 샘플 크기를 지원하기에 충분하며 웨이퍼 염색 및 매핑을 위해 최대 400 마일까지 이동합니다. 또한 KLA UV 1080은 고급 조명 및 알고리즘을 기반으로 하는 고속, 현장에서 검증된 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이를 통해 장비는 다양한 결함 유형과 크기에 걸쳐 결함을 정확하게 감지하고 특성화할 수 있으며, 이를 통해 신속한 프로시저 실행 (Procedure Execution) 및 심층 분석 (In-Depred Analysis) 을 수행할 수 있습니다. TENCOR UV-1080은 정확한 결과를 보장하고 전반적인 테스트 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 시스템 구성 요소를 갖추고 있으며, 이 구성요소는 항상 발전하는 도량형 (Metrology) 요구 사항에 맞게 구성 및 업그레이드할 수 있습니다. 따라서 프로세스 제어, 항복 모니터링, 장애 분석 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 wafer testing 및 metrology 단위가 됩니다.
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