판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9275986

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
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ID: 9275986
Film thickness measurement system SMIF.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 고급 광학, 이미징 기술 및 소프트웨어를 사용하여 웨이퍼의 표면 지형의 정확한 모델을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '의 표면 형태 에 대한 매우 정확 한 3D" 맵' 을 취하도록 설계 되어 있으며, 공학자 들 은 결함 과 입자 의 존재, 그리고 "필름 '층 의 두께 와 균일 함 등 여러 가지 속성 을 측정 할 수 있다. KLA UV 1080은 선택 가능한 응축기 조리개, 조정 가능한 현미경 목표 및 고해상도 카메라를 결합한 특수 현미경 렌즈 (Specialty microscope lens) 를 사용하여 웨이퍼 표면을 가로 질러 여러 지점을 동시에 캡처합니다. 이 시스템의 출력은 고유한 실시간 이미지로, 디지털 맵 (digital map) 으로 변환됩니다. 이 데이터는 알고리즘을 사용하여 데이터를 분석하고 웨이퍼 (wafer) 조건에 대한 종합적인 보고서를 생성하는 전문 소프트웨어 (specialized software) 에 전달됩니다. 광학 이미징 외에도 TENCOR UV-1080은 SEM (Scanning Electron Microscopy), XRD (X-ray diffraction) 및 필름 레이어의 두께와 모든 결함 또는 오염 물질을 측정하도록 설계된 기타 맞춤형 기술과 같은 다양한 특수 도량법 기술을 사용합니다. 이 단위는 또한 넓은 측정 범위를 가지고 있으며, 입자를 1 나노 미터 (1 nanometer) 로 감지하고 3 차원 용액으로 최대 4 미크론을 측정 할 수 있습니다. 웨이퍼의 표면 구조와 상태에 대한 포괄적인 개요를 제공하기 위해 UV-1080 (UV-1080) 은 다양한 웨이퍼에 걸쳐 정확성, 반복성, 유연성을 최적화하기 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 사용자 친화적 인 소프트웨어와 제어 옵션 (Control Option) 이 포함되어 있으므로 측정 매개변수를 조정하고 사용자 정의할 수 있습니다. 데이터 수집 (data collection) 프로세스의 일부로, 이 툴은 또한 이전 테스트 결과를 자동으로 저장하여 과거 (past) 및 새로운 (new) 측정 결과를 비교 및 검토할 수 있습니다. PROMETRIX UV 1080은 산업 재료 특성화 및 결함 감지를 위해 탁월한 수준의 디테일, 정확성, 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 광학 기술 (Optics Technology), 종합 소프트웨어 (Comprehensive Software) 및 특수 도량형 기술을 결합함으로써, 이 자산은 기판 표면의 효율적이고 안정적인 평가를 위한 귀중한 도구입니다.
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