판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9269382

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 고성능, 정밀 어플리케이션을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠른 결함 검사 및 웨이퍼 (wafer) 에 있는 피쳐의 정확한 측정을 위해 최대 1080 개의 이미지를 동시에 캡처할 수 있습니다. 이 장치는 심층적 인 서브 미크론 (submicron) 기능 크기로 이미징 할 때 뛰어난 해상도를 제공하는 극자외선 (EUV) 소스를 특징으로합니다. 10 x 확대/축소 optic 및 5 축 테이블은 다양한 필드 크기와 해상도 수준을 제공하여 빠르고 정확한 데이터 입수를 지원합니다. 이 기계는 고급 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 결함을 정확하게 식별하고 특성화합니다. 이 도구는 자동 결함 분석 (automated defect analysis) 을 통해 감지된 결함에 대한 자세한 분석 및 보고를 제공합니다. 이 자산은 프로세스 이력 (process history) 과 결함을 상호 연관시킬 수 있어 근본 원인 조사 (root cause investigation) 를 적시에 완료할 수 있습니다. 또한, 모델은 매우 높은 정밀도로 기판 및 IC 모두를 평가하는 데 사용될 수있다. 이 장비는 또한 고급 데이터 획득 (Advanced Data Acquisition) 기능을 제공하여 전체 웨이퍼 측정을 수행할 수 있습니다. 여기에는 CD, 오버레이, 임계 치수, 레티클 또는 네트워크 변경과 같은 중요한 매개변수를 측정하는 기능이 포함됩니다. 이 시스템은 또한 모듈성이 뛰어나 광학 성능, 이미지 분석 (image analysis), 데이터 수집 분야에서 유연성 및 사용자 정의가 향상되었습니다. KLA UV 1080은 낮은 입자 및 결함 수를 위해 설계되었으며, 웨이퍼는 오염이 없으며, 모든 이상을 쉽게 식별 할 수 있습니다. 자동 (automated) 툴 복구로 인한 짧은 주기 (short cycle time) 및 다운타임 최소화와 같은 추가 기능을 통해 처리 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한 원격 진단 및 사용자 친화적 인터페이스를 제공하므로, 유지 보수 부담도 줄어듭니다. 요약하면, TENCOR UV-1080은 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 유연한 설계 및 어레이 (Array of Features) 기능은 Wafer 검사 및 측정 응용 프로그램에 대한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이러한 설계는 다운타임과 처리 비용을 절감하는 동시에, 탁월한 정확성과 반복성을 보장합니다.