판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9268146

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 다양한 매개변수에 대한 웨이퍼 또는 반도체 칩을 측정하기 위해 자외선 (UV) 방사선을 사용하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. UV 쿼드 셀과 UV 듀얼 셀이라는 두 가지 고급 광학 시스템을 사용합니다. 4 중 셀 시스템은 각각 지형, CD 값, 기울기 및 선명도를 포함한 샘플의 별개의 특성을 측정하는 4 개의 검출기로 구성됩니다. 두 번째 UV 이중 셀 단위는 샘플의 위치 이동 (X-Y) 을 측정하는 2 개의 검출기로 구성됩니다. 기계의 UV 방사선은 정확한 측정을 위해 빠른 파장 전환 시간과 높은 정밀 데이터를 가지고 있습니다. 이렇게 하면 와퍼 서피스에서 핀홀, 힐록, 스크래치와 같은 다양한 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 임계 치수 (Cd) 의 변형을 정확히 파악하고 Thin Film 토폴로지 분석을 수행하는 데 이상적입니다. 또한 사용자는 재료 구성, 스트레스, 평평, 오버레이 및 탄소 오염을 분석 할 수 있습니다. KLA UV 1080은 쉽게 스캔할 수 있도록 넓은 각도 범위를 제공하며, 시간당 최대 150 웨이퍼 (wafer) 의 속도로 다양한 복잡도의 여러 대상을 측정 할 수 있습니다. 또한 기본 제공되는 웨이퍼 처리 기능 (wafer handling capability) 을 통해 수동 작업을 최소화하고 안정적인 작동을 위해 정기적인 유지 보수 작업만 수행할 수 있습니다. 또한, 특수한 측정 요구 사항에 맞게 에셋을 사용자 정의할 수 있습니다. 예를 들어, 운영 편의성을 높이기 위해 자동 로더 (Autoloader) 와 같은 추가 구성 요소를 포함할 수 있습니다. 이 모델의 잠재력을 최대한 활용하기 위해 산업용 자동화 (Automation) 와 제어 시스템 (Control System) 을 통합하여 운영 및 연구 애플리케이션 모두에 적합한 툴이 될 수 있습니다. 데이터 획득 기능 및 데이터 분석 기능은 KLA Worksite NT 소프트웨어를 통해 활성화됩니다. 이 모든 기능을 갖춘 소프트웨어에는 직관적이고, 사용자 정의 가능한 인터페이스가 포함되어 있으며, 다양한 wafer loading & scanning 작업을 지원하도록 설계되었습니다. 이 장비는 SMEMA (Surface Mount Equipment Manufacturers Association) 프로토콜 및 ELPHY + 제어 프로토콜 표준과도 호환됩니다. 전반적으로, TENCOR UV-1080은 효율적이고, 정확하고, 견고한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 빠르고 안정적인 결과를 제공하며, 반도체 산업에 큰 투자입니다.