판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9231980

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 고급 자외선 이미징 기술을 사용하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 "시스템 '은 자외선 에 노출 된" 웨이퍼' 에 특수 도량형 작업 을 수행 하도록 설계 되었다. 이 장치는 분 단위로 전체 웨이퍼를 자동으로 검사, 분류하여 정확하고 일관성 있는 (Consistent) 분류를 보장합니다. 기계의 핵심 기술은 자외선 이미징 (ultraviolet imaging) 을 사용하여 웨이퍼 표면을 측정하고 등급을 매깁니다. UV 이미징은 여러 UV 파장 밴드를 사용하여 웨이퍼 표면에서 미세한 변화를 정확하게 포착합니다. 이미징 도구는 각 대역의 웨이퍼 (wafer) 에서 데이터를 캡처하며 개별 입자, 결함, 미세 구조를 구별 할 수 있습니다. 획득한 이미지는 웨이퍼 패턴 데이터베이스와 비교하여 웨이퍼를 정확하게 분류합니다. 이 에셋에는 자동 결함 위치 (automated defect location) 와 웨이퍼 서피스의 결함 영역을 신속하게 감지하고 기록하는 매핑 모델 (mapping model) 도 포함되어 있습니다. 이 장비는 특수 알고리즘을 사용하여 플랫 라인 모서리 (flat line edges), 스플래싱 (splashing), 미세 입자 오염 (fine particle contamination) 및 대담 (delaminations) 과 같은 일반적인 결함 유형을 식별합니다. 결함 맵을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 의 특성을 신속하게 파악하고 쉽게 분석하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. KLA UV 1080에는 웨이퍼 스캔 시스템도 포함되어 있습니다. 이 장치 에는 고해상도 현미경 "렌즈 '와 특정 간격 으로" 웨이퍼' 표면 을 위아래 로 움직 이는 주사 단계 가 포함 된다. 이 머신은 대량의 데이터를 수집할 수 있으며, 이 데이터는 자동화된 피쳐 추출 (automated feature extractor) 에 의해 처리됩니다. 피쳐 추출기 (Feature extractor) 를 사용하면 웨이퍼 서피스의 결함, 결함 및 기타 특성을 빠르게 식별할 수 있습니다. 또한 고급 기능 분석 소프트웨어 (Advanced Feature Analysis Software) 를 통해 Wafer 내의 미세한 기능과 차이점을 파악하고 분석할 수 있습니다. 이 피쳐 분석에는 사용자정의 피쳐 추출, 피쳐 비교 분석, 피쳐 강도 분석 등이 포함됩니다. 이 소프트웨어는 사용자가 웨이퍼 서피스에서 결함, 입자, 기타 특성을 정확하게 식별하고 분류할 수 있는 기능을 제공합니다. TENCOR UV-1080 (TENCOR UV-1080) 은 자외선에 노출 된 웨이퍼에서 정확한 도량형 작업에 필요한 정확한 데이터를 제공합니다. 이 자산은 고급 자외선 이미징 기술, 자동화된 결함 위치/매핑, 강력한 기능 분석 (feature analysis) 을 활용하여 웨이퍼를 빠르고 정확하게 분류합니다. 모델의 데이터 수집 기능 (data collection capability) 및 피쳐 분석 소프트웨어 (feature analysis software) 를 사용하면 웨이퍼 서피스를 깊이 파악할 수 있으므로 도량형 작업의 정확성을 보장할 수 있습니다.