판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9224554

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
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ID: 9224554
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 고급 웨이퍼 도량형과 검사에 탁월한 성능을 제공합니다. 웨이퍼 표면의 패턴 구조를 나노 미터 정확도로 측정하는 고정밀 간섭계 (high-precision interferometer) 가 특징입니다. 이 시스템에는 200nm 이하의 최소 명암과 기능 크기로 작은 결함을 식별 할 수있는 고급 UV 광학 이미징 장치 (Optical Imaging Unit) 가 있습니다. 또한 최대 4k x 4k 픽셀 해상도의 넓은 영역 웨이퍼에 대한 고해상도 결함 검사를 수행 할 수 있습니다. KLA UV 1080은 구성 능력이 뛰어나 애플리케이션에 따라 사용자 지정 도량형 및 검사 설정이 가능합니다. 소스 (source) 및 대상 (destination) 모드에서 임계값을 설정하고 미크론 (micron) 배율 (scale) 로 샘플의 모든 기능을 검사하도록 구성할 수 있습니다. 이 기계에는 고속 스캔 엔진 (High-Speed Scan Engine) 이 있어 빠른 속도로 넓은 웨이퍼 영역을 스캔하고, 밝은 필드 (Brightfield) 및 어두운 필드 (Darkfield) 측정을 모두 수행하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구의 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 자산은 운영자 제어 및 데이터 분석을 지원하는 사용자 친화적 인 소프트웨어 패키지와 함께 제공됩니다. 최첨단 이미지 처리 기술을 활용하여 측정, 필터링, 결함 격리 프로세스를 자동화합니다. 이 소프트웨어는 신뢰성이 높으며, 보다 상세한 분석 및 보고서 작성을 위해 사용자 정의 출력 설정을 제공합니다. 또한, TENCOR UV-1080은 2 개의 레이저 빔과 원거리 이미징 모델을 사용하여 탁월한 정확성과 반복 성을 제공하는 안정적인 자동 초점 기술로 설계되었습니다. 이 장비는 다운타임을 줄이고 정확성을 향상시키도록 설계된 효율적인 교정 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 모서리 감지, 패턴 인식, 회색 음영 분석 등의 복잡한 이미지 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 Vacuum Wafer Chuck, UV Viewing Masks 및 Die and Reticle Holder를 포함한 다양한 액세서리와 옵션이 있습니다. 또한 주요 자동화 시스템과 호환되므로 테스트 주기 (testing cycle) 가 길고 처리량이 높습니다. 마지막으로, UV 1080 은 웨이퍼 테스트 및 도량형 요건을 위해 특별히 설계된 경제적이고 안정적인 솔루션입니다.
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