판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9217742

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080은 제작 후 반도체 장치의 검사 및 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 이미징 기술 (advanced imaging technology) 과 고출력 알고리즘을 활용하여 다양한 웨이퍼 크기, 모양, 재료에 걸쳐 결함을 나노미터 수준으로 매핑, 측정, 분류합니다. 이 시스템에는 기판 표면의 정확한 3D 이미지를 캡처하는 고출력 100W UV 레이저 이미징 헤드 (UV Laser Imaging Head) 가 있습니다. 스펙트럼 영상을 사용하여이 장치는 SU-8과 같은 광학 투명 재료 내에서 어둡고 가벼운 결함을 모두 감지 할 수 있습니다. 1080은 최대 1000X 배율에서 정확한 칩 내 다이 측정 및 결함 식별을 위해 고급 모터 스테이지 (Motorized Stage) 로 설계되었습니다. 이 기계는 직관적인 이미지 캡처 컨트롤을 제공하여 고해상도 이미지를 캡처하여 나란히 비교할 수 있습니다. 또한 1080은 표준 형식의 CAD 라이브러리 및 장치 모델과의 완벽한 통합을 제공하여 정확한 히스토그램 데이터 및 나노미터 정확도로 결함 위치 매핑을 보장합니다. 또한, 이 도구는 서피스 황삭, 결함 영역, 깊이 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 결함의 검토, 분석, 해결을위한 포괄적인 도구 모음을 제공합니다. 클라 1080 (KLA 1080) 모델은 모든 단계의 장치 제조 및 테스트에 대한 결함의 빠르고 정확한 정량화를 위해 설계되었습니다. 결함 해결 (Defect resolution) 기능을 통해 프로세스 반복성을 확인하고, 제조 프로세스 변동성 및 재료와 관련된 위험을 줄일 수 있습니다. TENCOR 1080은 SPC 프로세스의 구현뿐만 아니라, 수익률 평가, 문제 해결, 손실 문제 산출에 이상적입니다. 데이터 분석, 보고, 프레젠테이션을 위한 빠르고 정확한 이미지 처리, 감지, 정량화, 강력한 툴을 자랑합니다. 또한, 이 장비는 고속 스캔을 위한 자동 웨이퍼 정렬, 처리량 향상을 위한 wafer 핸들러 (옵션) 및 다이 투 다이 균일성 향상 기능을 갖추고 있습니다.