판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9233594

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ID: 9233594
웨이퍼 크기: 6"
Film thickness measurement system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 고장 분석, 수율 개선, 품질 보증 및 프로세스 특성에 사용되는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. UV 및 광대역 IR 파장에서 작동하는 레이저 및 이미징 (Imaging) 구성 요소를 사용하여 제품 및 기본 웨이퍼의 고대비 이미징을 제공합니다. 이 시스템은 탁월한 자동 도량형 (automated metrology) 기능을 제공하여 비이상적 측정 중에도 처리량 및 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 4K, 2K 및 1K 구성 옵션을 갖춘 고급 BCAM 분석기를 사용하면 입자 크기, 지형, 박막 두께 등 임의로 복잡한 기능을 정확하게 특성화할 수 있습니다. 임의의 피쳐를 정확하게 특성화하는 이 기능을 통해 장치가 항복 제한 결함을 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 기계의 이미징 컴포넌트 (imaging component) 는 다양한 입자 유형을 감지하여 프로세스 균일성 (process unifority) 을 향상시키고 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. 특허를받은 저조도 빔 스캔은 또한 어려운 환경에서 더 정확한 이미징을 허용합니다. 또한, KLA UV 1050은 효율적이고 간편한 웨이퍼 검사, 데이터 수집, 결함 관리, 보고서 작성을 위한 정교한 소프트웨어 도구를 갖추고 있습니다. 이러한 툴은 수집된 데이터가 정확하고, 해석이 가능하며, 품질이 가장 높도록 설계되었습니다. TENCOR UV-1050 은 포괄적인 고장 분석 툴 (Failure Analysis Tool) 에 통합되어, 식별 (identification) 에서 근본 원인 (root cause) 으로 제품 결함을 완벽하게 분석하여 개선을 도모할 수 있습니다. 또한, 자산은 KLA 및 TENCOR (TENCOR) 장애 분석 시스템 제품군과 완벽하게 호환되므로 시스템 간 데이터 공유가 가능합니다. 결론적으로 KLA UV-1050은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 특수 이미징 컴포넌트 (Imaging Component) 와 고급 소프트웨어 도구 (Advanced Software Tools) 를 통해 장비는 탁월한 도량형 기능을 제공하여 비이상 설정에서 처리량 및 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 시스템은 포괄적인 고장 분석 장치 (Failure Analysis Unit) 에 완전히 통합되어 수율 개선 및 프로세스 특성을 향상시킬 수 있습니다.
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