판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9185804

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 반도체 품질 보증 및 프로세스 최적화를 자동화하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 정밀 측정을 위해 고화질 이미징 (Hid-Fidelity Imaging) 과 동시 정전용 프로브 (Capacitative Probe) 를 위한 두 가지 기술을 결합한 구성 가능한 다중 응용 프로그램 검사 시스템입니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼에서 서브미크론 크기의 기능을 빠르고 정확하게 검사하고 측정 할 수 있습니다. KLA UV 1050은 독점 FIS (Final Image Machine) 를 사용하여 거칠거나 훌륭한 이미징 기능을 제공합니다. FIS는 자외선 (UV) 빛을 사용하여 실리콘 웨이퍼에서 금속 및 비금속 구조를 광학적으로 감지 할 수 있습니다. 자외선 (UV light) 은 가시 광선보다 파장이 짧기 때문에, 이 기계는 전통적인 검사 기법보다 훨씬 작은 기능을 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 노출 필드 보상 (exposure field compensation) 으로 웨이퍼의 양면을 검사하여 두 관점에서 일관된 이미지를 보장 할 수있는 멀티 카메라 아키텍처를 갖추고 있습니다. 또한 정전 용량 프로브는 TENCOR UV-1050에 통합되어 전선의 두께를 정확하게 측정합니다. 정전기 측정 시스템을 사용함으로써, 품질 측정은 빠르고 비용 효율적으로 이루어질 수 있습니다. 또한, 프로브는 웨이퍼 레벨 레시피 최적화를 통해 프로세스가 효율적으로 최적화되도록 합니다. PROMETRIX UV-1050은 높은 정밀도로 웨이퍼 형상을 측정, 모니터링 및 제어 할 수 있습니다. 임베디드 컨트롤 (Embedded Control) 에셋은 사용하기 쉽고 견고하므로 품질 프로세스 제어 시스템 (Quality Process Control System) 에 적합합니다. 또한 확장 된 자동 모니터링 기능 (Automated Monitoring Capability) 을 통해 초기 프로세스 문제 감지, 사양 외 (Out-of-Spec) 결과 확인, 사용자에게 실시간 수율 문제 경고 등의 기능을 제공합니다. 마지막으로, TENCOR UV 1050은 강력하면서도 직관적인 소프트웨어 프로그램을 통해 사용자가 사용자 지정 검사 레시피를 빠르고 쉽게 만들 수 있습니다. 또한 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 포괄적인 보고 모델 (Reporting Model) 이 포함되어 있어 검사 결과를 다양한 형식으로 보고 분석할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 정확한 측정과 높은 충실도 이미징을 빠른 속도로 제공합니다. 광학 이미징 (optical imaging) 과 커패시티브 프로브 (capacitive probe) 의 조합은 품질 프로세스 제어 및 지속적인 개선에 이상적입니다.