판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9182564
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ID: 9182564
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1997
Film thickness measurement system, 4"-8"
Handling robot: H2
Stage resolution: XY-0.25μm, Z-0.025μm
Source: Broadband xenon lamp (250nm to 750nm)
Imaging system: Color camera with pattern rec (COGNEX System)
PC: Intel P3 450MHz
OS: Summit 2.4 based on Windows NT4.0
SECS II Interface
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 즉, 얇고 매우 얇은 웨이퍼를 모두 안정적이고 반복적으로 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 저항력, 두께, 지형, 컴포지션 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 SEM (Scanning Electron Microscope) 기술과 다양한 검출기를 사용하여 얇고 매우 얇은 샘플의 도량형 및 전기 특성을 정확하게 측정합니다. 다양한 하위 샘플링 도구를 사용하여 저항성 (Resistivity), 지형 (Topography), 전원 (Power) 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 장치에는 테스트 시간을 줄이기 위해 가변 고속 XY 스캔 (Variable High Speed XY Scan) 과 가변 단계 크기의 가변 각도 플랫폼 (Variable angular platform) 이 장착되어 있습니다. 각도 플랫폼 (angular platform) 은 서로 다른 각도를 선택하여 더 자세한 지형 맵을 만들 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 배율을 가진 카메라 2 대 (카메라 2 대) 를 가지고 있으며, 서로 다른 영역의 세부 사항을 확대할 수 있습니다. 또한 KLA UV 1050 에는 현미경이 장착되어 있어, 사용자에게 매우 상세한 샘플 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 이 도구는 분광법 (spectroscopy) 기능도 제공하여 다양한 측정이 가능합니다. 이 자산은 두께가 최대 500 nm 인 얇고 매우 얇은 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 온도를 측정하는 데 사용할 수있는 내장 열전대를 제공합니다. 열전대 의 출력 은 진폭 또는 주파수 신호 (Amplitude or Frequency Signal) 로 변환 되는데, 이 신호 는 측정 하는 데 사용 된다. TENCOR UV-1050 (TENCOR UV-1050) 은 반복 가능하고 신뢰할 수있는 측정을 원하는 연구원과 실험실을위한 훌륭한 도구입니다. 또한, 장비는 높은 수준의 유연성을 제공하여, 사용자가 작업에 가장 적합한 도구를 선택할 수 있도록 합니다. 따라서, 얇고 매우 얇은 웨이퍼의 정밀 측정이 필요한 사람들에게 필수적인 도구입니다.
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