판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9172589
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ID: 9172589
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1999
Film thickness measurement system, 4"-8"
Computer: 450 MHz / 850 MHz
1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 서브 미크론에서 나노 미터 범위를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 웨이퍼의 결함 식별을위한 고해상도 이미징 장치가 있습니다. 고속 스캐닝 속도 (Fast Scanning Speed) 및 멀티스레드 스캐닝 아키텍처 (MultiThreaded Scanning Architecture) 를 통해 까다로운 운영 환경에서 결함을 정확하게 파악할 수 있습니다. 1050은 자외선 (UV) 광원을 사용하여 결함을 나타내는 복잡한 패턴을 식별하는 정확한 패턴 인식 기능을 제공합니다. KLA UV 1050에는 적응 가능한 부품과 구성 요소가 포함 된 모듈 식 빌드가 있습니다. 핵심 구성 요소는 스테이지, 카메라, 조명 및 소프트웨어 제어 머신으로 구성됩니다. 스테이지는 정확하고 반복 가능한 스캐닝 동작을 사용하여 정확한 이미지 정렬을 통해 고해상도 이미징을 제공합니다. 카메라는 하위 마이크론 이미징 데이터를 캡처하고 온보드 소프트웨어 패키지를 사용하여 처리합니다. 조명 도구를 사용하면 950에서 온-축 및 오프-축 조명으로 결함을 식별할 수 있습니다. TENCOR UV-1050은 고해상도 이미징 및 패턴 인식 외에도 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 프로세스 및 도량형 관련 결함을 감지하기위한 wafer-to-wafer 및 die-to-die 비교 기능이 포함됩니다. 또한 웨이퍼 두께 측정, 웨이퍼 모서리 감지 (wafer edge detection) 및 패턴 오버레이 (pattern overlay) 검사를 수행하여 다양한 기판에서 균일성을 보장할 수 있습니다. UV-1050은 PC, 노트북, 온보드 제어 에셋과 같은 외부 도구를 사용하여 제어할 수 있습니다. 다용도 성능은 연구 환경과 생산 환경 모두에 이상적입니다. 포괄적인 사양 목록에는 장기적인 안정성, 유연한 처리량, 최소한의 하드웨어 요구 사항이 포함됩니다. 기존 검사 방식과 비교할 때, 이 모델은 시간과 비용 모두에서 상당한 비용 절감 효과를 제공합니다. PROMETRIX UV-1050 (PROMETRIX UV-1050) 은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 다양한 어플리케이션 내에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 커스터마이징이 가능하며, 다양한 기판과 크기에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 시스템의 유연성, 효율성, 고급 이미징 (advanced imaging) 기능은 도전적인 웨이퍼 기판의 효율적인 검사 및 특성화를 위한 완벽한 도구입니다.
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