판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293754232

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
ID: 293754232
빈티지: 1997
Thin film measurement system, 6"-8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 옵토 전자 및 기계 특성과 관련된 다양한 특성을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 텔라펙스 조명을 기반으로하며, 운모 및 석영 재료를 포함한 다양한 광학 및 고속 분광법을 사용하여 웨이퍼의 두께 (Thickness), 깊이 (Depth) 및 표면 거칠기 (Surface Roughness) 와 같은 정확한 측정을 제공합니다. 이 장치는 웨이퍼 (wafer) 에 박막 (thin film) 과 작은 기능을 분석하고 특성화하도록 설계되어 고해상도 이미징 및 도량형이 가능합니다. KLA UV 1050에는 웨이퍼의 모든 기능을 빠르고 정확하게 특성화하기 위해 HRIS (High Resolution Imaging Machine) 가 장착되어 있습니다. TENCOR UV-1050은 Single Mode, Wide Field Mode 및 Multi-Spot Mode와 같은 다양한 모드 구성을 제공합니다. 단일 모드 (Single Mode) 는 올인원 (All-in-one) 솔루션으로 웨이퍼의 글로벌 및 로컬 속성을 모두 측정할 수 있습니다. "레이저 '는 파장 과 조리개 가 다른 여러 개 의" 레이저' 를 갖추고 있어서 복잡 한 구조 와 "패턴 '을 분석 할 수 있기 때문 에 매우 다양 한 도구 이다. 와이드 필드 모드 (Wide Field Mode) 는 더 높은 해상도의 이미징을 제공하며, 멀티 스팟 모드 (Multi-Spot Mode) 와 결합하면 여러 개별 스팟을 한 번에 검사할 수 있으므로 웨이퍼에서 매우 작은 기능을 검사하는 데 이상적입니다. UV 1050에는 EDS (Advanced Edge Detection Asset) 도 포함되어 있으며, 이는 모양과 크기 모두에서 결함을 평가하는 데 사용할 수 있습니다. EDS는 모서리를 감지하고 이 정보를 사용하여 다양한 유형의 결함을 찾아서 식별합니다. 이는 제품 품질이 필요한 표준을 충족하도록 하는 좋은 방법입니다. 이 모델의 다른 기능으로는 FCS (Focus Calibration Equipment) 가 있습니다. FCS (Focus Calibration Equipment) 는 스팟 측정이 일관되고 정확한지 확인하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 모든 구성이 그래픽으로 관리되므로 KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050은 매우 직관적인 방식으로 사용됩니다. 전반적으로, KLA UV-1050은 다재다능하고 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 특히 옵토 전자 및 기계적 특성의 정밀 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 제품 품질 표준 (Product Quality Standard) 을 충족하기 위해 정확하고 안정적인 웨이퍼 측정이 필요한 기업에 이상적입니다.
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