판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751596

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
ID: 293751596
웨이퍼 크기: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 반도체 장치 생산을 위해 높은 정밀도, 정확성 및 빠른 처리량을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 심자외선 조명을 사용하여 박막 도량형 (Thin Film Metrology) 및 거칠기 측정 (roughness measurements) 과 같은 응용 분야에 적합합니다. 이 장치는 제조업체가 비용을 절감하면서 품질을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. KLA UV 1050은 삼중 파장 Krypton Fluoride (KrF) 레이저 및 이중 파장 ArF 레이저를 포함한 다양한 UV (ultra-violet) 광원을 기반으로 한 다중 파장 도량형 기술을 사용합니다. KrF 레이저는 기존의 가시 광도보다 더 높은 정확도를 달성 할 수 있습니다. ArF 레이저는 필름 두께 및 균일성과 관련된 주요 매개변수를 얻는 데 사용됩니다. 이 두 가지 유형의 레이저 (Laser) 는 다양한 운영 프로세스의 요구를 충족하는 다양한 제어/테스트 기능을 제공합니다. 또한 TENCOR UV-1050 에는 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스에서 데이터를 수집, 제어 및 분석하는 정교한 소프트웨어 머신이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 Wafer Processing Parameter를 모니터링하고 조정하여 최고 품질의 제품을 보장하는 데 사용할 수 있습니다. 여기에는 GUI (Graphical User Interface), 데이터 수집, 웨이퍼 매핑 및 결함 분석, 보고서 생성 도구 등 여러 구성 요소가 포함됩니다. UV 1050 자산의 하드웨어 구성 요소에는 고해상도 카메라, 광학 보정기, 샘플 챔버 등이 있습니다. 카메라는 웨이퍼에서 반사된 빛을 캡처하며, 필름 두께 (film thickness) 와 균일 (uniformity) 과 같은 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. 광학 보정기 (optical compensator) 는 광선 (light beam) 의 경로를 조정하여 측정 정밀도를 높입니다. 또한, 샘플 챔버 (sample chamber) 는 테스트 및 도량형 프로세스에 최적의 환경을 생성합니다. PROMETRIX UV-1050 (PROMETRIX UV-1050) 은 반도체 장치 생산에 탁월한 결과를 제공 할 수있는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 강력한 하드웨어와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 높은 정확도와 빠른 처리량을 제공하는 반면, 레이저는 정확하고 오류 없는 결과를 보장합니다. 이 모든 기능을 갖춘 UV-1050 은 반도체 업계의 품질 관리 (Quality Control) 및 품질 보장을 위한 이상적인 툴입니다.
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