판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751193
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KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 포괄적인 측정 및 분석 도구를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 초고속 UV 레이저 (UV Laser) 와 정교한 광학 (Optics) 의 조합을 사용하면 직경이 최대 200mm인 얇은 웨이퍼의 두께와 토폴로지를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 150 kHz, 나노 미터 레벨 정밀 변위 측정 기계 (DMS) 를 사용하여 전체 웨이퍼 표면의 정확한 2 축 매핑을 얻습니다. 이렇게 하면 도구가 스크래치, 오염 물질 등의 작은 표면 결함을 매우 정확하게 감지할 수 있습니다. 또한, 이 기술을 사용하면 몇 나노 미터 해상도 (nanometer resolution level) 내에서 피쳐 크기를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA UV 1050은 또한 직경 200mm의 웨이퍼 (wafer) 에 대한 다양한 각도와 접근 각도에 대한 고해상도 3D 지형 및 스텝 높이 측정을 제공합니다. 즉, 모든 결함을 정확하게 파악하여 최고 수준의 웨이퍼 (wafer) 를 보장합니다. 이 자산은 대형 제조 응용프로그램 자동화에 이상적이며, 표준화된 모션 페이스 플레이트 (motion face plate) 를 통해 공장 장비에 통합할 수 있습니다. 이를 통해 대량 생산이 가능하도록 정확하고 일관된 데이터 수집을 보장할 수 있습니다. 또한 TENCOR UV-1050 은 각 제품에 대한 맞춤형 접근 방식을 지원하는 다양한 측정 도구 옵션을 제공합니다. 여기에는 다양한 크기와 노출 헤드 (Exposure Head) 및 도량형 팔레트 (Pallet) 옵션이 포함되며 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스를 수용합니다. 이 모델은 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하는 포괄적인 제어 소프트웨어 패키지에서 실행됩니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 에지 (Wafer Edge) 및 에지 프로파일 (Edge-Profile) 데이터의 그래픽 시각화를 제공하여 특정 결함을 쉽게 파악하고 문제를 해결합니다. 안전성 측면에서 TENCOR UV 1050은 fieldbus safety, machine safety 및 anti-vibration 요구 사항을 포함하여 모든 산업 표준을 준수합니다. 또한, 이 장비는 직관적인 기계식 운영 및 업계 표준 안전 표준 (Safety Standard) 으로 설계되어 안전하고 사용하기 쉽습니다. 전반적으로, UV 1050은 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스에 대한 정확하고 정확한 측정을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 시스템입니다. 머신 운영 (Machine Operation) 및 업계 표준 안전 표준 (Industry Standard Safety Standard) 을 통해 모든 운영 요구 사항에 대해 일관되고 안정적인 데이터를 제공할 수 있습니다.
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