판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293683730

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 정확한 고해상도 이미징, 빠른 테스트 후 분석 및 중요한 기능을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 결함 위치 (Defect Location), 오버레이 정렬 (Overlay Alignment), 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 과 같은 까다로운 응용 프로그램을 광범위한 프로세스 극단적으로 처리하도록 설계되었습니다. 고속 레이저 (Laser), 웨이퍼 싱글 (Wafer Singulation) 및 전체 이미지 자동화 (Full Imaging Automation) 를 활용하여 신속한 피드백을 제공하는 매우 빠른 처리량을 제공합니다. KLA UV 1050에는 와퍼 필드 전체의 조명 조건과 최고의 성능을 보장하는 최신 High Q 레이저 (High Q Laser) 까지 허용하는 라이트 가이드 (Light Guide) 를 포함하여 최첨단 옵티컬 유닛이 있습니다. TENCOR UV-1050은 또한 고급 스테이지 머신과 작은 스팟 크기 (5 µm) 를 특징으로하며, 타이트한 패턴에서도 뛰어난 이미징 및 도량형 정확성을 제공합니다. UV 1050에는 자동 초점 깊이와 자동 대각선 보정이 장착 된 통합 전동 Z 슬라이드도 있습니다. Z-슬라이드는 빠르고 정확한 움직임을 제공하며, 최대 20 ° m 까지 조정할 수 있으며, 고해상도 웨이퍼의 정렬 및 위치를 지정할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 혁신적인 자동 슬라이드 (Auto-Slide) 단일과 웨이퍼 매핑 기술을 사용하여 처리량을 높이고 사람의 오류를 줄입니다. UV-1050 은 또한 자동 청소 (automated cleaning), 분 입자 완화, 증기 농축 (steam enrichment) 등 다양한 고급 오염 제어 기능을 갖추고 있어 화상 처리 중 웨이퍼를 보호하여 품질과 효과적인 웨이퍼 모니터링을 제공합니다. TENCOR UV 1050에는 자동 결함 분석, 툴 유지 관리 및 데이터 기록, 종합적인 웹 기반 보고 자산, 작업 추적 모델 등 고급 소프트웨어 제품군도 포함되어 있습니다. 여러 언어로 된 맞춤형 보고서 및 디지털 다이어그램을 사용할 수 있습니다. 전반적으로, KLA UV-1050은 프로세스 제어, 항복 관리, 까다로운 어플리케이션의 중요한 기능 검사 (feature inspection) 를 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 빠른 처리 속도, 신뢰할 수 있는 이미지 획득, 고급 오염 제어 (Advanced Contamination Control), 종합적인 소프트웨어 패키지로 인해 Wafer 테스트 및 도량형을 위한 포괄적인 솔루션이 됩니다.